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中勤攜手英特格 優化光罩盒保護力

2019-06-24 12:12經濟日報 楊連基

晶圓、光罩、玻璃自動化儲存傳載專業製造商中勤實業,正式對外宣布與美商微電子產業特種化學品及材料解決方案的領導者英特格(Entegris)專利技術合作,獲得RSP自動化光罩盒的技術授權。

光電半導體客戶正邁向智慧製造的工業4.0時代,由於創新科技的物聯網、機器人等技術,中勤也在此工業時代製程中扮演重要角色,然而隨著大環境的改變,在面對客戶端製程升級時,中勤可立即提出相對應的技術及解決方案,與美商英特格合作更加相輔相成,未來的發展前景可期。

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英特格副總裁Paul Magoon表示,英特格在提供解決客戶端特定生產挑戰時,由中勤所拓展相關技術及解決方案,使彼此的努力更加相得益彰。中勤董事長陳延方亦表示,授權關鍵技術,讓中勤更加確信能為客戶提供能解決其需求並且能立即適用的產品。

隨著半導體產業開始進入先進技術節點,保持光罩無缺陷的要求比以往任何時候都高。中勤為求精益求精精神,不斷創新光罩的保護能力,包括降低關鍵的粒子汙染挑戰,配合客戶製造產品所需提供超潔淨的保護,強化自動化的氣密性,減少Haze風險。

中勤實業電話(03)318-5300。

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