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中勤新創nPF奈米塑材 光電半導體新價值應用

2019-05-29 23:05經濟日報 楊連基

光電半導體濕式製程工藝應用,乾燥處理為製程中最重要的步驟,並決定了濕式製程的品質。專注在晶圓、光罩、玻璃傳載盒供應商中勤實業,開發獨創的nPF奈米塑材,有效解決業界在蝕刻技術上的問題。以「新材料、新技術、新應用、新價值」為主軸,於6月4日至6日在上海新國際博覽中心參加國際太陽能光伏與智慧能源展(SNEC PV POWER EXPO),攤位號碼E1-103,展出各類型儲存載具及新產品開發成果。

中勤實業展出nPF奈米塑材及各類型儲存載具。 中勤實業/提供
中勤實業展出nPF奈米塑材及各類型儲存載具。 中勤實業/提供

該公司創新開發的nPF奈米塑材,經氮化處裡,材料本身佈滿奈米氣孔互通的組織,具有吸氣、排氣功能,能迅速分解水滴、排除水份, 以此材料特性應用到半導體產業使用的濕製程卡匣,解決氣泡痕、水印痕等問題,日前經半導體大廠認證,縮短乾燥時間達一半以上,減少50%以上的耗電量,有效節能減碳、增加產能,獲得客戶支持好評,已大幅應用於半導體全尺寸濕製程卡匣。

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在光伏產業持續優化產品設計,中勤推出「150 slot奈米側鏈聚四氟乙烯卡匣」,將原有產能提升達1.5倍,可直接相容於原本的製程機台,搭配nPF奈米塑材,提高載具高分子塑材物性及高耐化學性、高耐溫性,進而提升單晶制绒良率,有效增加光線吸收率,提高轉換效率超過21%。並且使用「紅外線穿透式熱傳導百點熔接法」的無縫隙技術,卡匣可防止在熱漲冷縮的製程中酸鹼溶液滲入、預防化學品交叉污染等問題。

中勤榮獲多項認證、專利,跨足四大產業,整合各高科技行業製程環境過程中所需高分子材料,並設立碳纖維製品生產線,開發的玻璃基板卡匣已導入面板大廠10.5代生產線,從設計、模擬、測試、組裝,提供客戶全方位高度客製化的最佳服務。中勤實業電話(03)318-5300,網址:www.ckplas.com。

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