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汎銓ALD產能吃緊 忠實客戶優先

2019-04-20 10:14經濟日報 翁永全

半導體材料分析業「隱形冠軍」汎銓科技近期完成增資,在備齊資源後,全力擴展業務版圖。汎銓重視分析技術研發,在MA/FA服務擁有多項領先分析業界的技術工法,自行研發的 ALD原子層沉積(Atomic Layer Deposition)真空鍍膜技術,包含設備開發及特殊樣品製備工法,均獨步業界。

汎銓科技董事長柳紀綸(中)表示,汎銓在研發及設備持續投資,在半導體材料分析業領先...
汎銓科技董事長柳紀綸(中)表示,汎銓在研發及設備持續投資,在半導體材料分析業領先、發光。 汎銓/提供

ALD真空鍍膜用在MA/FA的樣品製備,可保護樣品維持原貌,避免人為因素增加缺陷,是半導體大廠在每一代製程微縮進行研發過程中所不可或缺。在最先進的5nm、3nm製程研發,EUV光阻、Low K等關鍵材料,由於材料特性,以電子顯微鏡技術觀察材料的微結構及成份時,材料容易產生人為缺陷甚至變形、倒塌,導致製程研發人員誤判,走錯研發方向。

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汎銓自行研發ALD真空鍍膜技術,是業界唯一可以讓樣品形成盔甲保護,避免人為缺陷,呈現真實的材料微結構與成份。此技術廣泛應用於MA/FA多項分析,展現絕對領先的優勢。汎銓表示,協助忠實的客戶在激烈的競爭中勝出,也是成長的動力。因應產能供不應求,除了新竹、台南、南京廠持續擴充ALD真空鍍膜設備及產能,也祭出「忠實客戶優先」的策略,全部案件委託汎銓的客戶優先享有產能,能在研發競爭中取得優勢。

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