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中勤光罩智能傳載方案 上海半導體展大放異彩

2019-03-27 12:13經濟日報 楊連基

中勤新開發的RSP150光罩智慧傳載產品線,已進入半導體一線大廠使用。 中勤實業...
中勤新開發的RSP150光罩智慧傳載產品線,已進入半導體一線大廠使用。 中勤實業/提供
專注在光電半導體晶圓、光罩、玻璃傳載盒供應商中勤實業,日前參加上海半導體(SEMICON China)展會,以「智慧承載」為主題,展出多款晶圓盒與光罩傳載自動化解決方案。

中勤董事長陳延方表示,伴隨全球12/8英吋晶圓廠的快速建廠,開發一體成形晶圓框架提籃、12吋前開式晶圓傳送盒FOUP、光罩自動化傳輸盒Reticle SMIF Pod,已進入半導體一線大廠使用。RSP150光罩智慧傳載產品線,高耐磨耗材質,提供光罩超潔淨的保護,杜絕空氣中的微粒物質及有害物質析出污染,氣密性優於同業,減少光罩Haze風險,搭配智慧料架、充氣櫃,系統整合提升存儲作業速度。為客戶解決產品良率、性能及可靠性等核心問題,並致力協助半導體製造工廠提升產能,邁入智慧化、物聯網趨勢。

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上海半導體展現場觀展人士反應熱烈,詢問度比起往年大幅成長。 中勤實業/提供
上海半導體展現場觀展人士反應熱烈,詢問度比起往年大幅成長。 中勤實業/提供

因應先進封裝技術趨勢,中勤開發多款支援自動化傳輸的高強度智慧載具,以及專為扇出型封裝、其他先進封裝設計的全密閉式大尺寸FOUP,此次展出反應熱烈,詢問度比起去年大幅成長。擁有成熟的自動化供料系統(AMHS)經驗,從自動倉儲Stocker及OHT、AGV、RGV、Lifter、Transfer運搬車等硬體,到MES、MCS及SECS/GEM軟體等;均可提供上、下游整合供應鏈服務,一條龍的解決方案。幫助現有廠房導入高效、準確、靈活的自動化載具搬運傳輸,節省人力成本,提升理貨速度,達到設備互聯、資料共用、大資料分析,提供管理者最佳決策。中勤實業網址: www.ckplas.com

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