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台積電12A廠神龍圈 老舊管路回春計畫

2019-02-14 11:36經濟日報 陳華焜

台積電晶圓12A廠廠長黃遠國:「台積公司除了致力於創新製程的研發外,也秉持安全零事故、成為世界標竿的安全衛生企業的信念,建構本質安全的工作環境。」為了兼顧工廠生產不中斷及人員的工作安全,晶圓12A廠與承攬商交流合作,透過強化管路材質及改善配管手法,成功打造零洩漏的安全廠房,實踐和外界攜手,共同降低職場安全衛生風險的理想。

第31屆全國團結圈競賽金塔獎、台積電「FAB12A廠神龍圈」全體圈員。 中衛/提...
第31屆全國團結圈競賽金塔獎、台積電「FAB12A廠神龍圈」全體圈員。 中衛/提供

隨著工廠的廠齡升高,管路老化洩漏的風險也可能跟著提高。過去做法為發現管路腐蝕再排程更換,然而這種方式除了影響製程,更造成人員暴露風險。本次專案主題「老舊管路回春計畫」透過分析特殊製程溫度與作業環境監測結果,找出影響管路使用年限的真因,再利用基礎科學原理,創新發想出管路材質強化及配管手法精進的方法,在不影響製程的情況下改善管路洩漏問題。針對特殊製程區域,台積公司首創應用不沾鍋PFA材質進行防護強化,將原有廢氣管路內層鍍膜提升為3.5mm內襯,除了改善鍍膜厚度不均問題,較過去更增加20倍的防護層厚度,大幅增加管路耐用年限約60%。

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此外,團隊透過觀察管路製作與安裝流程,研究並討論出最佳管路安裝手法,即「避開管路二次加工的摺邊弱點」,透過改善管路安裝方向的細節,就可以完全避免廢氣管路接點腐蝕風險。除了材質與安裝手法的強化外,本次專案更進一步研擬強化管路洩漏早期偵測的預防方法,全面改善舊廠區可能面臨的管路老化問題。

晶圓12A廠與廠商合作,優化配管手法及品質,不僅維持製程穩定,也提供員工安全的工作環境。台積公司除了透過承攬商溝通平台分享上述改善經驗予廠商,也敦促廠商將配管改善手法帶進半導體同業,實踐台積公司追求業界共好的理念。

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