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濾能AMC濾網 符合7奈米製程規範

2019-02-01 07:55經濟日報 翁永全

動畫示意圖。 濾能公司/提供
動畫示意圖。 濾能公司/提供
濾能公司以AMC濾網及微污染控制的領先技術,為半導體生產線提供全方位防護,5年來成功打入產業供應鏈,獲得兩岸一線大廠使用。總經理黃銘文領頭發展出模組化AMC濾網模式,深受市場肯定,模組化框體也於去年榮獲環保署第二類環保標章認證,為業界首例。

在高潔淨度的半導體廠無塵室,存在許多看不見甚至聞不到的氣體懸浮物質(AMC),卻是影響良率的殺手。隨著半導體新世代製程演進,環境潔淨度標準一再升級,也成為供應商的一大挑戰。

濾能公司落實濾網廢棄物減量、框體重複使用、及濾網再生重複使用的 3R目標 濾...
濾能公司落實濾網廢棄物減量、框體重複使用、及濾網再生重複使用的 3R目標 濾能/提供

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濾能提供AMC高品質化學濾網可控制各種酸、鹼及有機氣體懸浮物質,從無塵室進氣口至天花板風機及製程機台端都可應用,進行全方位防治;濾能供應各種客戶指定規格的產品,已符合7奈米製程規範,並加速研發應用於次世代先進製程的新產品。

濾能重視環保,力行循環經濟,關鍵耗材以抽取式或堆疊式設計,可以彈性組合應用,減少替換次數,不僅安裝容易、安全,更為客戶降低濾網購置成本,落實濾網廢棄物減量、框體重複使用、及濾網再生重複使用的 3R目標。電話(03)477-0610。

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