親愛的網友:
為確保您享有最佳的瀏覽體驗,建議您提升您的 IE 瀏覽器至最新版本,感謝您的配合。
回聯合新聞網 RSS App 粉絲團 Line 我的新聞 udn family

新台幣貶1.7分 收30.867元 16:13

產學研發新型6吋複合晶圓 高耐壓低成本

2018-07-24 00:01經濟日報 吳佳汾

透過科技部竹科管理局106年度科學園區研發精進產學合作計畫的支持,環球晶圓股份有限公司、國立交通大學光電工程研究所郭浩中教授以及國家奈米元件實驗室(NDL)共同合作,從基板、晶圓接合、磊晶到E mode HEMT元件製程及驗證技術,發展具優良動態特性的6吋複合晶圓高耐壓E-mode GaN on Novel SOI HEMT技術,開發品質更佳、成本更低、產能倍增之前瞻性產品,並提供業界與學界有一個III-V化合物的製程平台,加速化合物半導體發展。

8吋高耐壓E-mode GaN on Si 晶圓/6吋高耐壓E-mode GaN...
8吋高耐壓E-mode GaN on Si 晶圓/6吋高耐壓E-mode GaN on Novel SOI晶圓。 竹科管理局/提供

本計畫完成高阻晶體生長,並以AlN為絕緣層,搭配高強度基板作為Handle wafer完成開發高強度、高絕緣特性與散熱佳之新型SOI(AlN)基板;運用磊晶應力調整技術,磊晶後基板bow<10um,3um GaN on SOI(AlN)結構可達到傳統5um GaN on bulk Si之耐壓能力;結合低損傷蝕刻製程,以及導入電漿表面處理及新式閘極介電層,成功克服閘極掘入式製程E-mode元件閘極漏電的難題,其動態特性有明顯的改善,開啟電阻的變化率減少至7.67%。

推薦

環球晶圓為世界前三大半導體矽晶圓材料供應商,也是世界唯一同時具有矽基板相關技術與氮化鎵磊晶技術之公司。藉由矽基板與氮化鎵磊晶技術創新與垂直整合,除具有成本優勢外,也能增加台灣在氮化鎵元件之技術能力與競爭力。環球晶圓除了提供矽晶圓外,也將提供次世代高功率、高頻市場與第五代通訊(5G)應用所需之特殊基板,成為全方位半導體材料供應商。

環球晶圓股份有限公司研發成果驗收。 竹科管理局/提供
環球晶圓股份有限公司研發成果驗收。 竹科管理局/提供

科學工業園區研發精進產學合作計畫之目的為激勵園區廠商與學界共同投入「產業異質整合」與「關鍵技術」之研究開發,達成促進就業與衍生產業群聚綜效的雙贏局面,強調補助研究發展的範圍涵蓋園區各產業領域皆可提出申請,同時也結合科技部推動人工智慧(AI)政策,鼓勵跨領域技術整合與科技部前期科研成果媒合,強化推動學術創意商品化期程。

A- A+

相關新聞

全球半導體設備銷售金額620億美元刷新紀錄2018-12-11
SEMI測試產委會 鞏固半導體高階應用可靠度2018-12-05
TSIA年會暨半導體獎頒獎 半導體菁英齊聚2018-11-28
聚睿發佈物聯網SoC應用的藍牙5低功耗IP2018-11-15
鑣達快速接頭 耐壓防震密合度佳2018-11-13
松下強化基板材料事業 對應半導體市場需求2018-12-13
巨積PCB 測試機 彈性客製設計服務2018-11-01
揚發水洗機 高壓噴洗節省人力2018-11-05
意法半導體慣性測量元件 嵌入式系統更高效能2018-12-04
愛德萬併購再出招 半導體系統級測試獲得進展2018-11-22
專攻MEMS IC 四方測試分類機熱賣2018-12-03
莘湜電漿廢氣處理機搶手2018-12-03
IC半導體業 汎銓扮除錯華陀2018-11-21
SEMI公布功率暨化合物半導體晶圓廠展望報告2018-11-27
麥德美樂思 成立新研發中心2018-11-05
外商以行動支持南台灣ABB從技術根本著手2018-11-27
聯華電子獲2018台灣企業永續報告白金獎2018-11-22
蔚華科攜手Xcerra 半導體測試接單奏捷2018-09-05

熱門文章

有機翻轉危機 坪林茶韻展開新氣象2018-12-13
太陽能光電系統 新光鋼全方位服務2018-12-13
全球物聯網智服大會 揭曉金龍獎最佳典範2018-12-13
肌活麗學創研發表專利胜肽黑諾基 2018-12-13
暨大NPO碩士學程好口碑招生中2018-12-13
未來科技展起跑 展現台灣科技產學能量2018-12-13
匯聚紡織產業共識 推升智慧製造實力2018-12-13
木槿花團隊 國外批發實戰教學2018-12-14
金洋引進知名品牌SUNTA 多功能遊戲墊2018-12-14
小米冬季多款新品發表 小愛同學有大亮點2018-12-13
上洋助力 日本三菱重工空調後發先至2018-12-14
建設海綿城市 滲透網管、滲透井經濟簡單2018-12-13
商業司推動結婚新六禮 引領懷舊新時尚2018-12-14
三菱重工商用新機一級能效 業主選配最佳方案2018-12-14
IWS愛望英國糖果屋 聖誕彩球鐵盒超吸睛2018-12-14
數位年代美台夥伴關係 合作契機持續增溫2018-12-13
臺南特產推韓國魚 挑大師助虱目魚產業升級2018-12-13
雲匯愛健康照護 壓力管理最佳呵護2018-12-14
能源局輔助業界研發 成果斐然2018-12-14
決勝新南向 大亞洲戰略經貿論壇 2018-12-13
站穩亞太最大交易平台 台北電玩展讓業者發大財2018-12-14
立穩機電挑戰電梯產業高標2018-12-13
雲林科大碩士班及碩士在職專班 熱烈招生2018-12-13
玉山銀攜手交大 成立AI金融中心2018-12-14
中國科大特調音樂Bar 師生共襄盛舉好嗨2018-12-13
京城鉅誕 北高雄最耀眼地段2018-12-13
立穩機電 台北建材展驚豔2018-12-14
臺中榮總: 減重手術造福重度肥胖族群 2018-12-13
雙強聯手 打造退休理財新藍圖2018-12-14
艸研所潔淨用品 零添加無負擔2018-12-14
用戶破2億!Uplive明年完成全球部署2018-12-14
命理風水一指通 金生麗活APP免費下載2018-12-13
毛孩耶誕新年禮 肽寶貝優惠雙重送 2018-12-13
Accupass創新會展科技海外拓點大馬2018-12-13
FinTech Taipei 引領金融創新浪潮2018-12-14
愛克發高階UV噴墨設備 加拿大印刷獎鍍金2018-12-13
呷百二「幸福滿堂」糖果禮盒新品上市 2018-12-14
各國會師埃及 台灣出席世界年會2018-12-14
環球科大技職國際化 海清班第36期畢業2018-12-13
長岡機電遮煙捲簾 可阻1千度高溫2018-12-13

商品推薦

商品推薦

留言


Top