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聰明AI呵護晶圓製造 清大研發恆溫節能

2018-06-25 15:45經濟日報 曹松清

半導體、面板廠因為要維持恆溫的製造環境,冰水主機耗電量佔整個廠務系統耗電大宗。

為協助產業智慧製造更有效提昇能源使用效益,科技部人工智慧製造系統研究中心主任簡禎富領導清華大學團隊,研發利用AI和大數據分析技術即時預測晶圓廠冷卻需求變化,掌握高點與低點以精準地最佳配置冰機,並分析冰機設備運轉大數據,預估各冰水主機的健康狀況和所能供應的冷凍噸,以優化開關冰機配置組合的最佳決策使各冰機運作在最佳效率區間並滿足冷凍噸的需求。

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當設備有潛在運轉風險時提早作預警,並產生精準調度建議給廠務人員要開啟或關閉哪一台冰機、哪幾台冰機需要提早檢視設備狀況,滿足冷凍噸需求和優化運轉效益以達到節能並提高人力和設備效能,也避免人員經驗差異所造成的決策不一致。

旺宏電子在節能減碳善盡企業社會責任一向不遺餘力,其先進十二吋晶圓五廠更曾榮獲103年與105年經濟部全國節能績優競賽優等獎。為進一步提昇節能效益,更率先採用AI和大數據分析技術。

該廠於今年2月初開始導入冰機節能技術,廠務系統連結清大開發的AI演算法,每日早、晚各給出一次開關機決策建議,截至五月底止,已經驗證具體執行成效顯著。旺宏電子副總經理陳瑞坤表示,透過此技術可以在既有節電措施上再提昇0.36%的效能,以目前月產能約兩萬片推估,一年可降低碳排放量385噸,約當於一座大安森林公園一年碳吸附量。

簡禎富表示,清華大學決策分析研究室接受科技部人工智慧專案計畫補助深耕AI和大數據分析相關技術,與旺宏電子產學合作所發展的解決方案能夠提供聰明生產的廠務環境,結合冰機設備健康參數的大數據分析,能夠預先偵測潛在的設備問題,並在因應外在環境溫度和生產負載變化下,滿足恆溫製造環境所需的冷凍噸需求且優化冰水主機調度,讓每台冰水主機在最佳效能區間內運轉以節能並提昇設備效益,未來應能推廣至其他產業以協助節能。

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