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奇鼎空氣水洗裝置 高效濾除AMC

2018-04-03 11:25經濟日報 楊連基

空氣處理科技與技術是奇鼎科技經營的主要核心項目,市場的行銷以半導體製程高端的氣體偵測與處理為重點發展方向,在2012年獲「潔淨室外氣空調箱節能水洗裝置」SBIR卓越研發成果獎;在2017年獲「中小企業創新研究獎」具有卓越研發應用能力。參加中國半導體展(SEMICON CHINA;攤位號碼:N5 Hall/5144),展示最新技術。

奇鼎科技表示,AMC指的是在製造環境過程,產生的氣體性分子污染物(Airborne Molecular Contamination)如MA、MB、MC及MD等揮發物質,不論是對產品良率、設備使用年限,甚至是人體健康皆有重要影響。市面上空氣水洗機(Air Washer)搭配化學濾網安裝在外氣空調箱(Make-up Unit)已經成為相關產業的基本配置模式,尤其在半導體、封測、面板等高階製程產業,汙染物與良率的關聯性更息息相關。由於台灣的廠房多數集中在政府規畫的科學園區,區域建廠密度極高,各廠間尾端排氣交叉污染效應嚴重,加上季節風向的轉變,使得大氣中各種化學污染物,例如:SOX、NOX、CO、NH3 、HCL及其它的有機污染物等,氣體濃度含量會比其他區域偏高。

目前常見的空氣水洗設備在外氣濃度高於50ppb以上時,去除性能會不足,此時對後端化學濾網的壽命將是一大考驗。因此奇鼎科技採用陶瓷材的離子吸附板來濾除AMC,它具有非常良好的親水性,結構為獨家設計的斜面蜂巢,可在材質表面形成水膜,氣流穿過無機陶瓷淋水材,透過風道與空氣的有效接觸產生最佳效益,維持高去除性能。

並響應全球節能政策,低壓損及低用水量,不需噴頭可直接利用水的重力達成最佳加濕能力、最佳液氣化,用於製程恒溫微汙處理設備,可節省風機用電達10%;若應用於廠務的外氣空調箱的水洗段,可有效節省水泵耗電量達90%以上,且經由空調箱的出口端實測證實,MA和MB污染物去除性能可達90%以上(或出口濃度小於3ppbv)。於製程端應用亦同時保護光學鏡頭、曝光光源、防止霧化,能精進與省能。

奇鼎科技網址:www.chd-tech.com.tw。

奇鼎科技獨家的空氣水洗設備,採用無機離子吸附板來濾除AMC。 奇鼎科技/提供
奇鼎科技獨家的空氣水洗設備,採用無機離子吸附板來濾除AMC。 奇鼎科技/提供

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