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儀科中心 展關鍵零組件在地化成果

2017-09-15 09:37經濟日報 曹松清

國研院儀科中心攤位在一樓K區2150。 曹松清/攝影
國研院儀科中心攤位在一樓K區2150。 曹松清/攝影
國研院儀器科技研究中心以驅動儀器設備在地化為使命,近年來全力投入關鍵儀器設備自製開發,建構台灣產業儀器設備自主化的能量與契機。

儀科中心自2015年宣示投入半導體產業決心後,將其在光機電領域深耕逾40年的技術能量與半導體設備產業進行串聯,期望帶動上下游關鍵零組件在地化發展,落實半導體設備光學元件自主化製造的目標,提升台灣半導體產業的競爭力。

儀科中心藉由成功交付福衛五號光學遙測酬載的研發經歷,培養大口徑鏡片的製作,以及高階光機系統的設計與組裝能力,於會場展示多項通過半導體製程實際驗證之曝光機關鍵零組件,包括客製化透鏡、石英導光柱、精密定位平台用平面參考面鏡、晶圓夾持模組 (Wafer Chuck) 與晶圓移動機構頂針 (Elevation Pin, E-Pin)、曝光機用濾光片及廣波域抗反射鏡,以及適用於微影曝光系統的雙遠心式 REMA 鏡頭等關鍵零組件。

除精密光學元組件客製化服務外,儀科中心於原子沉積系統 (ALD) 開發累積10年經驗,於會場實機展示1吋矽晶圓之原子層沉積系統,以及專為小尺寸的試片與探針製鍍的原子層鍍膜系統微型機ALD TEM-nano 系統。

儀科中心已朝向曝光機光學系統設計開發之一條龍完整服務,設計製造出步進式曝光機投影鏡頭,亦針對步進式曝光機之精密光機系統,提供在地化光學元件/系統設計、製造、組裝、鍍膜及機械視覺等技術對外服務,希冀協助台灣設備廠商自主化生產高難度、高精度之半導體設備和光學元件/系統開發,打破半導體設備過往只能倚賴進口之侷限。同時亦可藉由設備的製造與維修在地化,協助國內半導體廠提升設備使用彈性並降低成本。

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