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高性價比 特銓光罩檢測設備

2017-08-07 09:06經濟日報 翁永全

特銓公司總經理陳明生早年任職於半導體晶圓和封裝廠,5年前角色互換,從製程管理者轉換成為光罩檢測設備開發商,推出性價比最高的AOI檢查系統,產品不僅超越稱霸市場多年的ASML IRIS系統,打入台積電、聯電、高通、美光及中芯半導體,更讓晶圓廠省下上億元的資本支出。

特銓的成功故事,是台積電員工離職創業的眾多事例之一。陳明生過去有13年待在黃光區的經驗,深諳光罩製程,也擔任過後段3D封裝的部經理。特銓初期投入6吋光罩盒,率先將工程塑膠PEEK與奈米碳管兩種材料結合,推出專利產品,為新加坡半導體廠徹底解決了靜電問題。

二年後出售專利給同業,結束產品製造,跨入無人化光罩管理系統的領域。

特銓的AOI檢查系統,以10um-0.5um為市場定位,並搭配非接觸式及化學式清洗機,扁平狀的DEFECT或指紋均能有效檢出以及處理。難度高於一般的光罩檢查機,比IRIS精準,並可即時看到瑕疵影像,成功幫客戶拉升黃光區產能5%之多。並以快速光罩清潔模組,搭配AOI檢測,進一步貼近光罩室無人化管理。

特銓的下一步計畫是打造晶圓廠新型態的無人化光罩室管理系統。將已量產的AOI和清洗機機台,與地上走的AGV或空中運行OHT無人搬運車結合,並攜手麻省理工學院團隊進行AI研發,把光罩瑕疵做分類,藉由MES和派工系統做整合管理,實現無人化光罩室管理系統。

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