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高大培育半導體人才 EUVL製程迎接5G時代

2019-05-27 16:34經濟日報 戴佑真

荷蘭ASML為晶片微影設備供應商,市場佔有率超過80%,全球十大半導體廠皆為其客...
荷蘭ASML為晶片微影設備供應商,市場佔有率超過80%,全球十大半導體廠皆為其客戶。 國立高雄大學/提供
「極紫外光微影製程(Extreme UV Lithography,EUVL)」被半導體業視為最新興熱門技術,國立高雄大學同步引進,積極培育半導體光電製程人才,日前分別與「ASML台灣艾司摩爾股份有限公司」、「國家同步輻射研究中心(National Synchrotron Radiation Research Center ,NSRRC)」合作,安排業界專家協同授課,以及舉辦「2019 International EUVL Workshop in Taiwan」研討會,幫助學生了解EUVL最新發展趨勢,提早準備因應。

協同授課、研討會分別於15、16兩日密集舉行,課程策劃者、高雄大學應用化學系教授兼學務長鄭秀英表示,前者邀請ASML研發人員演講公司最新的半導體微影技術,也讓學生了解,學習化學、物理、電子、機電、軟體、精密技術等領域均有可發揮之處。

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課程會後合影。 國立高雄大學/提供
課程會後合影。 國立高雄大學/提供

來自荷蘭的ASML為晶片微影設備供應商翹楚,市場佔有率超過80%,全球十大半導體廠皆為其客戶,ASML協助設計、研發及整合高階系統,開發相關資訊科技、行動通訊、物聯網相關產品晶片,諸如熱門電子產品iPhone、電視、導航裝置,都有採用 ASML 設備製造的晶片。

課程師生前往座落於新竹科學園區的國家同步輻射研究中心,參觀加速器光源設施,及聆聽...
課程師生前往座落於新竹科學園區的國家同步輻射研究中心,參觀加速器光源設施,及聆聽「半導體微影製程概論」最新研究成果。 國立高雄大學/提供
另場(16日)「2019 International EUVL Workshop in Taiwan」,則是師生前往座落於新竹科學園區的國家同步輻射研究中心,除了參觀加速器光源設施,也聆聽極紫外光微影製程權威、美國State Uniersity of New York at Albany(紐約州立大學奧爾巴尼分校)教授Gregory Denbeaux,以及「半導體微影製程概論」授課教授發表最新研究成果。

根據資料顯示,半導體產業視「極紫外光微影製程」為「救世主」,主要原因是半導體製程的主流光源是波長193奈米(nm)的「氬氟(Argon-Fluoride)雷射」,處理已微縮到幾十奈米尺度的電晶體相對吃力,波長僅13.5奈米的極紫外光波長相對有優勢,且可使摩爾定律再延伸至少10年。藉由EUVL製程,5G 晶片組可減小體積空間、提升電池續航力,進而設計出更輕薄短小產品。

該兩場活動為高雄大學高教深耕計畫、分項子計畫「培育半導體光電製程產業跨域人才」課程單元之一,鄭秀英表示,歷年完成該學程的學生超過一半學以致用,且其中近45%為世界級半導體設備、晶圓代工、封測、LED元件大廠錄用,包括AMAT、Amkor、ASML、Micron、台積電、聯電、日月光、群創、矽品、億光。

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