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明志科大鍍膜技術 創亞洲之先

2017-05-24 17:00經濟日報 曹佳榮

明志科技大學薄膜中心實驗室揭牌儀式與設備啟用典禮,校長劉祖華、產學界學者專家及中...
明志科技大學薄膜中心實驗室揭牌儀式與設備啟用典禮,校長劉祖華、產學界學者專家及中心研究團隊合影。 明志科大/提供
明志科大薄膜研究中心多年來投入「高密度電漿技術」研發,尤其在「高功率脈衝磁控濺鍍(HiPIMS)系統鍍膜技術」方面成果斐然,日前舉行「先進物理鍍膜系統設備與製程開發實驗室」揭牌儀式與複合式鍍膜系統設備啟用典禮。

明志科大表示,新建置實驗室與複合式鍍膜系統設備有助於執行科技部計畫、教育部實務課程發展計畫與相關產學合作計畫,提升學生實習成效,對於學生養成專業技術與增強就業能力有極大幫助。薄膜中心長期致力於「高密度電漿技術」、「電漿診斷」、「低溫電漿技術」、「電漿聚合」、「表面功能化技術」、「PVD鍍膜系統設計與製程開發」等研究項目,近三年已執行政府機關與民間產學計畫共109案,總經費達8,875萬元,衍生技轉案共有7件,技轉金額達208萬元,獲得專利24件,發表SCI期刊論文共222篇,研發成果豐碩。目前,除了科技部二年共1,400萬元補助之外,也獲得學校挹注516萬元,以及相關廠商捐贈215萬元的設備經費,並衍生971萬元的產學計畫,績效相當突出。發展高功率脈衝磁控濺鍍(HiPIMS)系統的鍍膜技術與應用推廣為該深耕計畫的重點之一,該研究團隊目前在HiPIMS技術鍍製金屬、氮化物、氧化物與碳化物薄膜方面的研究有極大突破發展,成果位居亞洲地區領先地位。

負責薄膜中心研究團隊的材料系教授李志偉表示,該團隊整合教授張奇龍、清華大學教授杜正恭、成功大學教授丁志明與虎尾科大教授張銀佑的技術專長,投入大量經費設備與專業人力,並於104年開始執行科技部「深耕工業基礎技術專案計畫-先進物理鍍膜技術與鍍膜系統設備開發」多年期研究計畫。由於複合鍍膜系統可以結合HiPIMS鍍膜與陰極電弧鍍膜技術快速成膜的優點,大幅提高鍍膜品質,並能在低於攝氏200度以下的溫度鍍膜,因此除了一般金屬、陶瓷與矽材料表面之外,更能在塑膠高分子、布料等材質表面進行高品質的鍍膜,未來在光學、光電、半導體、能源、機械加工、生醫等領域的應用都具有極大的發展潛力。

李志偉指出,新購置的複合式鍍膜系統設備係由教授張奇龍設計,委託亮傑科技製造,可整合HiPIMS鍍膜與陰極電弧鍍膜系統,屬於世界級最先進的鍍膜設備技術,目前全世界只有德國Oerlikon Balzers公司推出整合這兩種技術的商業型機台,因此,薄膜中心將致力於推廣這套最新穎的複合式鍍膜系統與鍍膜技術的Turnkey solution到台灣與亞洲地區,以大幅提升我國鍍膜產業的設備與製程技術能力。

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