親愛的網友:
為確保您享有最佳的瀏覽體驗,建議您提升您的 IE 瀏覽器至最新版本,感謝您的配合。
回聯合新聞網 RSS App 粉絲團 Line 我的收藏 udn family

和碩股東會登場 總座:變種病毒肆虐 努力彌補缺口 10:11

環球晶展望佳 外資目標價喊上1,200元 10:32

零下70度鍵合銅與矽 中央大學科研成果登國際期刊

2020-12-23 07:09聯合報 記者潘乃欣/台北即時報導
高溫
  • 矽晶圓
  • 機械系

中央大學機械系教授李天錫在合成奈米矽晶實驗中意外發現,在室溫下甚至在攝氏零下70度,銅與矽的表面鍵合也能產生和數百度高溫退火後一樣強的效果。這實驗結果對晶圓鍵合學理提出創新觀點,不是退火溫度,電子才是關鍵,成果刊載於金屬頂尖期刊「材料學報」(Acta Materialia)。

李天錫說,晶圓鍵合技術是製作先進光電材料、奈微機電系統、半導體材料的一項關鍵技術,不用膠,而使用互相接觸表面原子產生鍵結將材料結合在一起。傳統的方式,是透過熱處理,在高溫下進行,使接面能產生足夠強度的鍵合能。

推薦

李天錫解釋,銅是金屬鍵,矽是共價鍵,兩者不易產生中間化合物,不易形成鍵結,也不能緊密接合一起,也由於矽黏不住銅,因此銅原子很容易在矽中擴散。

現今使銅與矽結合常用的技術是壓縮鍵合法,先在矽晶圓上鍍上一層黏著層,這黏著層可以黏住隨後鍍上的銅薄膜,然後把這銅薄膜表面與另一銅材質表面互相緊緊扣壓,經熱處理後,隔個黏著層把銅和矽鍵合在一起。但嚴格說來,這是銅與銅之間的鍵合。

李天錫說,他的團隊發現以「電化學」方式使銅片表面的銅原子游離化,再與矽晶圓表面上的懸掛鍵進行鍵結。鍵結可達到攝氏零下70度,就證明了銅與矽的鍵合,與熱能沒多大關係,是應用電子轉移產生離子直接鍵合的方式,不再受限於退火溫度,可有更廣泛的應用。

他指出,鍵合界面雖只有數個原子厚,卻有達到鍵合材料之破裂強度的鍵合能。這項實驗的結果及對超低溫鍵合現象提出的見解,可縮短製程,擴大應用層面。

中央大學機械系教授李天錫(中)研究團隊對晶圓鍵合學理提出創新觀點,成果刊載於金屬...
中央大學機械系教授李天錫(中)研究團隊對晶圓鍵合學理提出創新觀點,成果刊載於金屬頂尖期刊「材料學報」。圖/中央大學提供

高溫 矽晶圓 機械系
A- A+

相關新聞

一早掌握財經大小事 立即訂閱「會員電子報」2021-08-02
雙颱共舞? 盧碧颱風最快今上午生成 恐海陸警齊發2021-08-04
關鍵技術人員赴陸 須申請2021-08-04
奧運獎金比一比:那國最大方? 台灣算多嗎?答案會讓人意外2021-08-04
盧碧颱風生成 氣象局估下午發海警、明下半天恐陸警2021-08-04
東奧田徑/黃金右臂沒發揮 鄭兆村無緣決賽2021-08-04
中市運動激勵金增20倍六都最高 楊勇緯謝市府「力挺」2021-08-04
豪雨成災嘉義縣63住戶淹水逾50公分 發給救助金5千元2021-08-04
一中街水利大樓減租糾紛 律師建議補教業者可這樣做2021-08-04
台南3座水庫都灌飽 曾文水庫調解放水預計排7200萬噸2021-08-04
政府八折減租 台中補教大樓收足被控「發國難財」2021-08-04
東奧田徑/陳奎儒13秒57淘汰 進準決賽仍是台灣近37年紀錄2021-08-04
大陸預估:南海熱帶低氣壓逼近 恐為台灣帶來大到暴雨2021-08-04
盧碧颱風生成! 最新路徑、影響看這 最快今晚發海警2021-08-04
東奧田徑/4點就起床 黃士峰資格賽77公尺16「非常失望」2021-08-04
3低壓環伺!盧碧颱風最快今生成 這3天最近挾顯著水氣2021-08-04
父親節前滿18歲才能公投?民團批剝奪7萬名首投族權利2021-08-04
吳德榮:颱風盧碧最快4日生成 警報發布仍待觀察2021-08-04
西半部留意大雨豪雨 沿海風強浪大慎防長浪2021-08-04
半導體人才爭奪戰 從北打到南2021-08-04
奧運最終戰 莊智淵自責失誤多2021-08-04
台灣欄神 拚進準決賽2021-08-04
林昀儒復仇成功 擊敗奧恰洛夫2021-08-04
小林世界排名晉升第5 莊樂見後繼有人2021-08-04
東奧黃金計畫 18人進8強 已奪2金4銀1銅2021-08-04
地方加碼 麟洋獎金不同命2021-08-04
限制關鍵技術人員赴陸 產業解讀防紅色鏈挖角2021-08-04
熱帶低壓華南沿岸發展慢 颱風盧碧可能4日生成2021-08-03
馬術/拚了四屆奧運圓夢 陳少曼:代表台灣很光榮2021-08-03
聲援小S 江啟臣:為國手加油不需要道歉2021-08-03
網紅私闖霧社水庫 台電:違法事證函送主管機關2021-08-03
東奧馬術/停職圓奧運夢 國巨千金陳少曼完賽史上第一人2021-08-03
小S挺東奧國手遭對岸網友出征 江啟臣:何錯之有?2021-08-03
買股5天狂賠30萬!女主播聽信朋友報明牌結果超慘烈2021-08-03
田徑/陳奎儒跑出本季最佳 成績擇優晉級準決賽2021-08-03
慈濟關懷弱勢學童 提供紓困生活、就學金2021-08-03
三倍券有千億效益? 蔡壁如酸蘇:謊話講多了自以為真的2021-08-03
「EUA未獲准」郭董很著急!陳時中:下午就會簽核2021-08-03
登錄沒?3萬元應屆畢業生就業獎勵 放寬認定資格2021-08-03
不要「一豬多制」!美豬牛爭議吵什麼?2020-08-31

熱門文章

最新/台灣新冠肺炎本土病例地圖及雙北熱區一次看2021-08-03
雙北餐廳內用 訂位暴增2021-08-04
新北開放餐廳內用首日 侯友宜:仍有半數業者未開放2021-08-03
101銷售員 傳確診案例2021-08-04
關鍵技術人員赴陸 須申請2021-08-04
影/視訊賣保單有多難? 保險業務員告訴你/疫後生存日記2021-08-03
限制關鍵技術人員赴陸 產業解讀防紅色鏈挖角2021-08-04
遠百中山店、寶慶店因專櫃員工確診 停業一天2021-08-04
朱立倫參選國民黨主席 喊拚2022選戰2021-08-04

關注更多

留言

Top

完成

成功收藏,前往會員中心查看!