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普森PDMS系列主軸 綠色智造助力

本文共579字

經濟日報 黃奇鐘

普森日前於半導體展展出的「氣靜壓精密主軸PDMS系列」產品,是普森突破傳統設計框架的重要里程碑,研發團隊利用氣體黏度僅有普通潤滑油千分之一的特性,搭配氣壓流道的結構設計,在主軸內部形成具備承載剛性的氣壓軸承,而搭載此技術的「氣靜壓精密主軸PDMS系列」,具環保、高轉速、智慧化特性,可滿足半導體晶圓的切割、減薄、研磨等加工條件需求,是製程零組件國產化的最佳選擇。

普森董事長特助彭秉榤(左)與課長忻育葳在展場合影。黃奇鐘/攝影
普森董事長特助彭秉榤(左)與課長忻育葳在展場合影。黃奇鐘/攝影

普森精密主軸公司表示,「氣靜壓精密主軸PDMS系列」三大特性,首先為「環保無油」:普森團隊依研發的氣體軸承技術,透過理論計算與分析進行軸承最適化設計,實現以外部氣體通過微孔進入定轉子間的間隙內,藉其靜壓浮上並獲得軸承剛性,取代傳統採用油脂潤滑鋼珠軸承的設計。此「環保無油」的設計,可有效避免油料對製程環境的污染。

二、零磨耗高速運轉:氣靜壓精密主軸PDMS系列以內藏高效率馬達直接驅動,可維持百分百的動力傳遞,轉速達到60,000rpm。配合氣體軸承設計,可實現真正零磨耗,有效降低製造過程中的能源損失,具備節能減碳的優勢。

三、智慧化:為應對日漸增加的自動化需求,普森「氣靜壓精密主軸PDMS系列」可內置溫度、震動等感測器,讓客戶隨時掌握主軸現況,適時調整參數,提高產出品質,滿足綠色智造的市場趨勢。

普森精密主軸公司電話(04)2213-5988,網址:www.posa-spindle.com。

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