馗鼎奈米科技塗層鍍膜 提供產業最佳選擇方案

國內電漿技術設備指標廠-馗鼎奈米科技，創立以來，以優越的技術開發能力，開創各領域可應用的電漿及鍍膜設備，產品深受3C、PCB產業、航太、汽機(自行)車、光電、生醫、半導體等產業青睞，該公司所擁有的PVD(濺鍍、陰極電弧、過濾式彎弧)、PECVD(DLC、彩鑽)及CVD(Ti(C)N、鑽石塗層)前瞻技術及經驗，深受國際大廠青睞。

以抗靜電消散-類鑽碳膜(ESD-DLC、Diamond-like Carbon，DLC)為例，馗鼎奈米在業界頗具知名度，仍透過不斷的技術精進，除原先優秀低摩擦係數、耐磨耗、耐腐蝕特性應用外，更針對半導體領域，因隨著晶片尺寸越做越小，封裝、封測甚至晶圓製造端所使用的元件，包含治具(Hot Plate、Change kit、Contack chuck)、軌道、載盤、震動盤、模具等，皆需要有抗靜電的功能特性，以保護產品在生產過程中，因靜電導致破壞等問題。

馗鼎奈米科技表示，以所開發的PVD PVN500-C為例，其具備奈米複合硬質塗層技術，並採陰極電弧鍍膜技術，可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源，對於圓形靶靶材利用率高，搭載4 組Heater及超高真空渦輪幫浦，可均勻升溫至450℃，且8軸3層公自轉機構設計，不僅可讓產能極大化且鍍膜層均勻，並可全自動化鍍膜生產，及遠端網路診斷、程式除錯。

該公指出透過多元複合技術，搭配PVD/PECVD等特殊多層堆疊技術，可實現表面達抗靜電消散能力(105~108Ω)的薄膜效果，並具備高溫(200℃)℃與低溫(-50℃)測試環境下，仍可保持穩定電阻特性，而附加的耐磨耗特性，更可提升封測盤面的使用壽命，該技術已量產五年以上，穩定性與可靠度，更是受到客戶多年認證及青睞肯定。

且針對銑削、車削、鑽孔、攻牙的刀工具，以及成型、沖壓模具，馗鼎奈米科技所開發的PVD PVN500-R設備，可作相對應鍍膜技術處理，該公司強調，馗鼎的非晶四面體碳膜 (Tetrahedral Amorphous Carbon，ta-C)鍍膜技術，不僅引領PCB鑽針產業，可塗層於刃徑小至0.1mm以下之鑽頭，且硬度高於40GPa膜潤系塗層，更可有效增加PCB機鑽的CPK、孔限與疊版層數，客戶群遍及全球各大板廠。

馗鼎奈米科技強調，目前公司的塗層技術，可應用到光電產業、電池產業、注塑零件及IC產業之導線架加工，全系列塗層技術，更能因應客戶不同需求，作客製化設計調整，亦可協助企業，切入先進半導體製程，並提供產業鍍膜代工最佳選擇方案及選擇。