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鼎佳能源HPR系統 通過SEMI S2驗證

2021-05-26 10:06經濟日報 黃奇鐘

鼎佳能源公司為能符合半導體廠對於設備的嚴格要求,特將HPR系統委託財團法人精密機械研究發展中心(PMC),嚴格依據SEMI S2標準進行認證。於今年5月通過審查驗證,並獲頒證書,將助台灣晶圓製造產業降低成本,並符合綠色循環經濟的要求。

PMC總經理賴永祥(左四)與鼎佳公司董事長閻明宇(左五)及夥伴共同合影。PMC...
PMC總經理賴永祥(左四)與鼎佳公司董事長閻明宇(左五)及夥伴共同合影。PMC/提供

半導體製程在7奈米以下,進入極紫外光(EUV)微影製程的時代。台積電也成為全球第一家引進EUV製程的晶圓製造廠。EUV製程其中一項特色就是耗用大量氫氣。依據報導,台積電每天需要氫氣槽車幾十輛,需耗用氫氣約10萬立方米。然而目前EUV製程使用的氫氣九成以上並未消耗,直接自EUV設備排出。如何將半導體製程氫氣進行安全有效的回收,避免氫氣不足影響晶圓廠產能,將會是重要課題。

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鼎佳能源針對晶圓廠氫氣回收需求,開發出以常壓電化學法為原理的氫氣純化回收系統(HPR,Hydrogen Purify and Recovery System)。這項產品相較傳統氫氣純化技術有兩項重大優勢:首先常壓操作,傳統氣體純化都要先將易燃易爆的氫氣壓縮成為高壓氣體,屬於危險製程,一般晶圓廠無法接受,鼎佳產品可於安全常壓條件下進行純化。二、高效分離含有氮氣的氫氣,半導體製程中常含有30-50%氮氣,傳統製程分離效率不佳,鼎佳能源產品可將EUV排放的廢氫回收80%,同時將氫氣純化至99.999%與氫氣業者供應的氫氣純度相同。如能獲國內半導體廠採用,將可省下大量氫氣,減少氫氣製造產生的碳排放。可降低晶圓製程成本,鞏固台灣半導產業競爭優勢。

鼎佳能源網址:https://toplus-e.com.tw/list/36

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