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精密定位與AOI對位技術實務 工研院開課

本文共571字

經濟日報 賴俊明

台灣半導體產業年產值約新台幣1.8兆元;而2019年國內半導體產業設備採購需求5000億,其中前段製程設備比重佔70%,而向國內採購之設備僅佔15%,其中採購國內前段製程設備更僅有7%。2018年台灣工具機製造業產值達約9500億,平均毛利率15%;相對于半導體設備產業平均毛利率40-50%,前段製程高階機台毛利率甚至高于70%-80%,兩者差異甚大。

次微米(Sub micron)等級精度是設備共同世代所趨,其差異在於半導體製程特殊性及精密定位與製程對位需求; XY軸次微米級定位搭配Z軸奈米級短行程定位建構半導體製程技術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。 課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係,到次微米級設備組裝技術與限制條件,藉由振動抑制功能、精度的提昇,達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。

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【課程辦理資訊】

課程時間:111年6月8日、6月9日(三、四),09:30~16:30,兩天共12hrs。

課程地點:Webex線上會議室

課程費用:

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課程聯絡人:(02)2370-1111 分機 609 ,yunan@itri.org.tw 黃小姐。

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