台積電催供應鏈在地化 日半導體材料商 JSR 在台投資 CMP 材料研發中心

台積電（2330）（TSMC）持續推動供應鏈在地化，日本光阻液及研磨液大廠JSR台灣捷時雅電子材料與台灣應用材料合作，宣布於新竹成立先進平坦製程解決方案聯合研究中心，台積電研究發展副總章勳明親自站台，強調先進製程中CMP機械平坦化技術重要性高，挑戰堪比將一座棒球場地板高低落差磨到小於一根頭髮厚度。

為提高供應韌性，台積電要求供應商在地化，JSR台灣捷時雅除日前宣布與華立、李長榮化工合資台灣捷時雅先進製造股份有限公司，預計在雲林廠量產無機光阻劑，預計一年半後驗證，2年後正式量產，支援台積電2 奈米、1.6 奈米與 1.4 奈米等先進製程，而JSR也於15日宣布新竹湖口先進平坦製程解決方案聯合研究中心啟用，與應材CMP機台合作開發次世代先進研磨液。

看重此次投資，日本JSR株式會社社長兼執行長堀哲朗、JSR電子材料事業部總經理木村徹、應用材料集團副總裁暨台灣區總裁余定陸、華立董事長張尊賢都出席開幕典禮。

半導體先進製程技術挑戰高，黃光微影製程若是蓋房子，則CMP製程有如平坦化打地基，JSR主管表示，當半導體製程從10奈米微縮至2奈米時，容忍度縮小5倍，對平坦化的要求極度嚴苛，CMP耗材重要性也大幅提昇，加上背面供電使製程中的耗材用量倍增，台積電因此更期望關鍵供應鏈能在地提供服務，增加時效。

堀哲朗指出，由於先進製程技術挑戰高，為此客戶期望加速供應鏈在地化，過去原料從日本送到台灣約需一至兩周時間，現在若研發人力跟實驗資源移到台灣，在地實驗完可以馬上送客戶驗證，大幅縮短時間，未來也期望在地材料供應商能一起配合提高速度。

堀哲朗指出，地緣政治與客戶要求是在地化生產的重大推力，除了台灣，JSR 也會投入龐大資源支援台積電美國亞利桑那州（Arizona）廠區的發展。

章勳明表示，他30年前加入台積電時是公司第一位 CMP 工程師，從 6 吋晶圓一路磨到 12 吋，當時CMP供應商百家爭鳴，如今供應家數也縮減，JSR跟應材都在當時脫穎而出成台積電傑出供應商，2005 年更曾協助台積電在銅製程研磨取得突破，他也獲得首屆創新改革獎。

他也用美食打比方，他指出應用材料的設備和 JSR 的研磨液就像是「廚具與食材」，而台積電是「大廚」，必須將三者完美配合，才能做出米其林等級的料。