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中國何時能自產 EUV?晶片戰爭作者米勒 認為仍需10-15年

本文共478字

經濟日報 記者彭慧明/即時報導

在美國主導管制下,艾斯摩爾(ASML)停止出口極紫外光微影製程設備(EUV)到中國大陸,但大陸積極自主研發自己的EUV設備,更傳出挖角國際專家、且技術突破的消息。《晶片戰爭》作者Chris Miller(克里斯米勒)來台參加論壇時表示,大陸目前在EUV技術上仍落後,尚無法生產商業化的EUV微影機台。他認為美國及合夥夥伴的強力管制,讓大陸短期內無法建立完整的EUV供應鏈,技術管制仍能有效抑制中國大陸最先進晶片製造能力。

他表示,先進EUV設備涉及光學系統、曝光技術等諸多領域,每個領域都需要長期積累,即使大陸招聘專家積極突破,並且以各種手法獲取技術,但目前技術至少落後一個世代,即使ASML也花了30年才讓EUV技術成熟,大陸要完全突破需要10-15年。另外,大陸雖可能透過逆向工程或其他方式,逐步提升其EUV能力。不過因為全球半導體技術快速進步,大陸即使克服EUV挑戰,未來還要面對更先進的技術競爭。

不過他認為,大陸短期內做不出EUV設備,但可能以加強深紫外光微影製程技術(DUV)彌補,使大陸能繼續提升28nm及以上製程技術,但無法與EUV的效率相比。

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