打開 App

  • 會員中心
  • 訂閱管理
  • 常見問題
  • 登出
bell icon
notice-title img

經濟日報數位訂閱 周年 3 好禮

⭐訂閱送 2025 投資理財攻略
⭐年訂抽東京雙人來回機票
⭐分享加碼抽 iPhone 16

快來領攻略、遊東京、拿iPhone,一起備戰 2025!



不再通知
notice-title img

經濟日報數位訂閱 周年 3 好禮

⭐訂閱送 2025 投資理財攻略
⭐年訂抽東京雙人來回機票
⭐分享加碼抽 iPhone 16

快來領攻略、遊東京、拿iPhone,一起備戰 2025!



不再通知

ASM 推出 PE2O8碳化矽磊晶系統

本文共732字

經濟日報 記者劉芳妙/台北即時報導

半導體前端製程設備企業ASM在2024國際碳化矽與材料論壇上發布全新PE2O8碳化矽磊晶系統。這款雙腔體碳化矽(SiC)磊晶 (Epi)平台旨在滿足先進碳化矽功率元件領域的需求,具備低缺陷率、高製程穩定性,成為業界標竿。PE2O8具備更高的產量和較低的擁有成本,促進了碳化矽元件的更廣泛應用。

隨著全面電氣化趨勢推動更多功率元件製造商在越來越多高功率應用中(如電動車、綠能與先進資料中心)使用碳化矽 (SiC),對碳化矽的需求和降低成本的期望日益增強,這促使了6吋至8吋碳化矽基板的過渡。同時,碳化矽元件製造商正致力於設計更高功率的元件,這些元件將受益於更優質的碳化矽磊晶技術。

採用獨特設計的PE2O8雙腔體系統,透過極度精確的控制進行碳化矽沉積,實現了標竿級的高產量和更佳的生產率。其高度精密的雙腔體設計不僅提升了生產效率,也有效降低整體營運成本。此外,該系統具備簡便的定期維護方案,幫助提高設備的正常運行時間,並減少意外停機的發生。目前,該系統已持續交付給全球多個客戶,其中包含碳化矽功率元件製造業的領導企業。

ASM企業副總裁兼PEALD及Epi事業部門總經理Steven Reiter表示,我們的客戶正在從6吋晶圓過渡到8吋晶圓,所以我們正處於碳化矽功率產品的關鍵轉折點。在更大尺寸的晶圓上提供高品質的磊晶製程並有效控制缺陷率至關重要,而我們憑藉創新的腔體設計,一直作為業界製程穩定性的標竿。如今,我們擴展系統能力,進一步提升製程控制,並透過降低擁有成本為客戶創造更多價值。

自2022年以來,ASM透過新的碳化矽磊晶產品部門,持續開發和精煉其單晶圓碳化矽磊晶系統。隨著電動車需求結構性的增加,及碳化矽晶圓和元件整體產量的提升,碳化矽磊晶設備市場近年來大幅增長。

※ 歡迎用「轉貼」或「分享」的方式轉傳文章連結;未經授權,請勿複製轉貼文章內容

上一篇
緯創前3季賺贏2023全年 投資38億元改良AI園區
下一篇
童子賢支持廖俊智減碳主張 再次呼籲重視核電

相關

熱門

看更多

看更多

留言

完成

成功收藏,前往會員中心查看!