打開 App

  • 會員中心
  • 訂閱管理
  • 常見問題
  • 登出
notice-title img

經濟日報數位訂閱 周年 3 好禮

⭐訂閱送 2025 投資理財攻略
⭐年訂抽東京雙人來回機票
⭐分享加碼抽 iPhone 16

快來領攻略、遊東京、拿iPhone,一起備戰 2025!



不再通知
notice-title img

經濟日報數位訂閱 周年 3 好禮

⭐訂閱送 2025 投資理財攻略
⭐年訂抽東京雙人來回機票
⭐分享加碼抽 iPhone 16

快來領攻略、遊東京、拿iPhone,一起備戰 2025!



不再通知

台積電先進製程再添戰力 下世代 EUV 設備...本月進駐

台積電。 路透
台積電。 路透

本文共728字

經濟日報 記者尹慧中/台北報導

業界傳出,台積電(2330)首台下世代高數值孔徑極紫外光微影設備(High-NA EUV)本月將進機,持續領先三星的交機進度,有助台積電持續衝刺新世代先進製程。

對於相關傳聞,艾司摩爾昨(9)日不評論單一客戶。台積電不回應市場傳聞。

業界盛傳,台積電首台High-NA EUV本月將進機,預計移入台積電全球研發中心,作為研發使用,進而應對後續A14等先進製程開發需求。

至於價格方面,外傳台積電總裁魏哲家親自出馬議價有成,在購買新機配售舊款產品之下,整體報價估可減少近二成。

據了解,高數值孔徑極紫外光微影設備報價逾4億歐元,因光鏡頭鏡片無法分拆入廠,高度比一間會議室還高、長度也遠超前一代設備,因規格特殊且精密,恐須機場或港口聯通的高速公路交管或特定路線於深夜運送入廠,以避免交通不順。

據統計,台積電目前是全球最大極紫外光微影系統設備持有者,估計占全球EUV晶圓設備產出65%,也是率先將EUV設備導入7奈米製程的廠商。

艾司摩爾已獲得所有極紫外光微影(EUV)設備客戶下單下世代產品。ASML High NA EUV產品管理副總裁Greet Storms日前受訪提到,「ASML持續推進新的技術,並獲得每個EUV客戶在研發階段青睞,這些也都是我們High-NA客戶,也都有下單給我們,2026年希望是往量產方向推進」,不過仍看客戶製程成本等總體考量。

艾司摩爾先前曾證實,今年底前將向台積電交付最新的High-NA EUV。艾司摩爾強調,下世代極紫外光微影設備已於去年底開始陸續出貨,產能預計每小時可曝光超過185片晶圓,將支援2奈米以下邏輯晶片及具有相似電晶體密度的記憶體晶片量產。


延伸閱讀

台積電首台 High NA EUV 傳本月進機 逾4億歐元設備恐交管入廠

※ 歡迎用「轉貼」或「分享」的方式轉傳文章連結;未經授權,請勿複製轉貼文章內容

上一篇
中鋼通過二階扁鋼胚機械燒除機汰舊換新及增設脫硝及脫硫系統計畫
下一篇
士電常董異動 許家第四代接手

相關

熱門

看更多

看更多

留言

完成

成功收藏,前往會員中心查看!