台特化開發AHF助力先進半導體製程 徐秀蘭：值得認識的好公司

尖端電晶體製造全方位解決方案提供商台特化今日舉行上櫃前業績發表會，有「晶圓女王」之稱的董事長徐秀蘭親自簡報，她表示，台特化營收來源有自製產品、國內代理產品、海外代理服務三大方向，其中最重要的，就是自製特化產品，為半導體先進製程所必須，「這是一家值得大眾認識的好公司」。

台特化總經理張雄飛今日表示，台特化聚焦於半導體特殊氣體(SEG, Specialty Electronic Gases)及半導體特用化學材料(SEC, Specialty Electronic Chemicals)製造與銷售。

台特化主要產品為矽乙烷，主要用於化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition, CVD)製程，為半導體產業進入先進製程時代的關鍵矽基化合物薄膜的關鍵性材料，目前已建立全球矽乙烷最大產能單一生產線，獨創的超高純度特殊氣體合成純化技術，可同時產出矽乙烷、矽丙烷在製程設計規劃階段同時考慮節能減碳及環保永續議題，製程水電用量相對於其他競爭者降低70%以上能耗，且無固態廢棄物產生，超前建構碳中和時代的國際競爭力。

徐秀蘭指出，台灣是全球最重要的先進半導體生產基地，但半導體製程中，所需特殊氣體原料卻大多仰賴進口，為了台灣能突破取得關鍵原料的限制，補足半導體產業鏈上游缺口，使台灣的半導體產業鏈上中下游得以連貫，強化整體供應鏈韌性，台特化因而誕生。

台特化上半年度營收4.05億元，較去年同期成長95.96%，並去年度全年營收70%，稅後淨利1.56億元，已超過去年整年度獲利金額，EPS為1.13元。

徐秀蘭表示，台特化的核心技術團隊在化學專業領域平均年資10年以上，自行培養特氣操作技術人才，並自主研發高端的關鍵特殊氣體材料合成純化製造技術，已建立特氣產製技術專業Know-How，並取得台灣、中國大陸、美國、南韓新型及發明專利，自有智慧財產保護布局完善。

張雄飛表示，台特化的產品發展策略以持續開發先進蝕刻氣體類、前驅體類等產品為主軸，涵蓋半導體產業在電晶體生成循環製程所需之多項精密特殊氣體，今年開發出新產品無水氟化氫(AHF)，為先進半導體製程中非常重要的乾式蝕刻與清潔特氣原料，主要應用於晶圓沉積薄膜蝕刻與機台設備內矽類殘留晶體的清潔移除，具有優異的選擇率及向性可應用於更先進的製程，目前已送交客戶認證。

台特化並宣布，辦理現金增資9445張，預計掛牌股本將提升至14.76億元，公司將安排於適當時機掛牌上櫃，截至6月底止，實收資本額為新台幣13.82億元。