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半導體先進製程持續推進，引爆三星、英特爾與台積電（2330）的極紫外光（EUV）設備軍備競賽，談到台積電何時導入天價高數值孔徑極紫外光（High-NA EUV）微影設備，台積電資深副總暨副共同營運長張曉強接受外媒訪問時透露，相信台積電研發團隊會做出最好決定，在合適的技術節點採用。
High-NA EUV一台要價高達3.8億美元（逾新台幣120億元），較一般EUV貴逾一倍。
搶在台積電之前，三星、英特爾都砸重金購入數台High-NA EUV，希望能透過更先進的設備，力圖彎道超車台積電。
業界解讀，張曉強並未透露台積電購買High-NA EUV確切時間點，透露台積電胸有成竹，不會因為對手們搶先添購設備而盲目擴大採購，仍採穩紮穩打方式布局先進製程，迎接挑戰。
外媒TechTechPotato YouTube近期上傳張曉強長達29分鐘的訪談內容。張曉強強調，別忘了台積電早在7奈米世代就率先實現EUV商用量產，是業界首家。
張曉強指出，台積電目前在EUV使用與量產、生產效率等都處於領先地位，相信台積電研發團隊將繼續專注於新的EUV應用，這明顯包含High-NA EUV，「我們將選擇合適的技術節點來使用，畢竟需要考慮很多因素。」
張曉強也說，顯然存在可擴展性因素，還有製造成本因素，所以我相信我們的研發團隊會做出最好的決定，在何時何處選擇下一代EUV來應用。
業界認為，High-NA EUV價格昂貴，先導入生產不一定保證就會領先。
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