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外電報導，荷蘭政府禁止 ASML 出售 EUV 給中國，且若中國犯台，ASML 和台積電可遠端關閉 EUV。國科會主委吳誠文23日表示，以現在的半導體產業智慧製造技術，可以做得到。
彭博報導，根據數名知情人士，若中國入侵台灣，荷蘭半導體生產設備製造商艾司摩爾（ASML）及台積電有方法，可讓台積電世界最先進晶片製造設備「極紫外光曝光機」（EUV）停止運作。
彭博指出，ASML 是全球唯一生產 EUV 的公司，每台售價超過2億歐元；荷蘭政府長期以來出手管制 ASML 科技，防止它落入不肖人士之手，例如荷蘭政府禁止 ASML 出售 EUV 給中國，因為美國當局擔心，敵手中國若取得 EUV，恐在全球晶片戰爭中取得優勢。
立法院教育及文化委員會邀請吳誠文列席報告業務概況並備質詢，有立委提問外媒報導是否屬實，是否可遠端關閉 EUV。吳誠文回應，以現在的半導體產業智慧製造技術，「可以做得到，技術上是可以的」。
此外，有立委關切國科會防止中國滲透的相關策略，比如先前提出的國家核心關鍵技術清單。吳誠文表示，國科會沒有改變態度，會繼續以台灣的國家發展、安全為優先，台灣屬自由民主社會一份子，相關國際規範限制、國內政策法令，都必須遵循，也會協助學術界遵循，善盡提醒義務。
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