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氫氟碳化物將總量管制免驚 台積電這樣說

本文共363字

經濟日報 記者尹慧中/台北即時報導

關於環境部將管制半導體製程清洗元件所需的氫氟碳化物議題,再度被外界關注,不過該議題討論已久,國內龍頭半導體大廠多已有接軌法規的準備。台積電(2330)今(6)日回應也提到,針對氫氟碳化物(HFCs)的使用,台積公司將配合主管機關規範,同時持續開發與導入製程使用削減技術,並加速長期在替代化學品的相關研究。

台積電回應該議題全文如下:

「綠色製造是台積公司的永續承諾,而推動低碳製造為其中關鍵一環。台積公司透過製程氣體使用量最佳化、替換高全球暖化潛勢的製程氣體、安裝製程尾氣處理設備、使用碳中和天然氣等永續技術與措施,已成功將含氟溫室氣體削減率提高至95%以上,積極邁向公司2050年淨零排放目標。

針對氫氟碳化物(HFCs)的使用,台積公司將配合主管機關規範,同時持續開發與導入製程使用削減技術,並加速長期在替代化學品的相關研究。」

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