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對岸打造本土晶圓代工鏈 成效有限

本文共303字

經濟日報 記者尹慧中/台北報導

美方傳出有意阻撓中芯、華虹等大陸晶圓代工廠取得成熟製程生產必備的深紫外光 (DUV)機台,大陸當地設備廠積極尋找相關設備本土化方案,但成效相當有限。

業界人士透露,大陸積極打造半導體本土化供應鏈,但DUV、乃至於更先進的極紫外光(EUV)顯影設備技術層次高,且關鍵專利已被國際大廠卡死,陸廠要自製本土化顯影設備,難度很高,目前僅能應用在65奈米乃至90奈米等更成熟的製程,而且離符合成本商品化還有一段路要走,除非當地晶圓廠不計成本採用陸企設備投入生產,並由官方補貼持續輸血。

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由於大陸晶圓廠商受限美國出口管制,近年陸方積極扶植本土替代廠商。業界說,對應艾司摩爾,大陸扶植上海微電;對於應材,則以中微半導體為主。

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