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美擋艾司摩爾DUV售陸

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正向荷蘭施壓 點名日商尼康 要求禁售半導體成熟製程設備 台積、聯電有望受惠

美國正向荷蘭、日本等國施壓,要求荷商艾司摩爾(ASML)、日商尼康(Nikon)禁止銷售陸企半導體成熟製程生產必備的深紫外光(DUV)機台。路透
美國正向荷蘭、日本等國施壓,要求荷商艾司摩爾(ASML)、日商尼康(Nikon)禁止銷售陸企半導體成熟製程生產必備的深紫外光(DUV)機台。路透

本文共947字

經濟日報 編譯葉亭均、記者尹慧中/綜合報導

彭博資訊報導,美國正向荷蘭、日本等國施壓,要求荷商艾司摩爾(ASML)、日商尼康(Nikon)禁止銷售陸企半導體成熟製程生產必備的深紫外光(DUV)機台。

若成局,中芯、華虹等大陸晶圓代工廠擴產將受阻,在全球半導體市況雜音不斷之際,有助產業秩序更趨於健康,對聯電、世界、力積電等台廠有利。

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彭博資訊引述知情人士談話指出,美國商務部副部長格雷夫斯5月底到6月初出訪荷蘭和比利時討論供應鏈問題時,提出求相關要求。對此,美國商務部和荷蘭外交部不予置評。尼康發言人則表示,對此議題無可奉告。艾司摩爾發言人說:「討論並不是新的。尚未作出任何決定,我們不希望對傳言加以臆測或評論。」

美國有意出手管制DUV機台售予陸企的消息傳聞多時,已讓相關機台供應商有所忌憚,艾司摩爾2021年更罕見發布聲明,說明與中芯的DUV設備交易合約未如期完成,進而延長採購協議期限。

美國出口管制法規更新後,主要限制中芯取得極紫外光(EUV)設備,但並未限制成熟製程所需的DUV設備(源自美國成分占比較低)。彭博資訊認為,華盛頓當局提議的禁售措施,將使現有向大陸出售最先進設備的限制範圍和類別進一步擴大,可能嚴重打擊中芯國際和華虹半導體等大陸晶片製造業者。

若美國限縮陸企取得DUV設備,業界解讀,中芯不僅發展14奈米以下先進製程因無法採購EUV設備而受阻礙,後續取得DUV設備製程交期也延長,將影響成熟製程的擴充。

中芯稍早已受DUV機台取得不順,導致擴產腳步受影響,原定在深圳擴產28奈米製程每月7萬片,已下修至每月4萬片,而且計畫順延,最快2022年底才會實現。

華虹方面,先前公布財報顯示,今年首季月產能32.4萬片8吋約當晶圓,產能利用率106%,並規劃無錫二廠與三廠擴充,使月產能增加超過9萬片,若DUV設備取得不順,也將影響其擴產進度。

業界觀察,以各廠商擴產計畫與DUV設備取得時程推算,中芯成熟製程市占率仍遠低於台廠。數據顯示,聯電去年在全球28奈米製程市占達13%,居第一;台積電主攻16奈米以下先進製程,先進製程市占率傲視群雄。

近期半導體市況出現雜音,砍單傳言不斷,若中芯、華虹等陸企無法順利取得DUV機台,將使得其成熟製程擴產受阻,進而使得業界新產能開出有所節制,有助產業秩序朝健康發展,對聯電、世界、力積電等台廠有利。

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