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竹科火警 晶圓廠虛驚

本文共479字

經濟日報 本報綜合報導

遠東集團轉投資亞東氣體公司位於竹科新建中廠房昨(19)日上午發生爆炸起火事故,一度造成竹科瞬間供電壓降,晶圓代工廠台積電、聯電(2303)(2303)、世界先進虛驚一場;力積電廠區則啟動不斷電系統,具體影響待評估。

竹科管理局指出,昨天這起意外使得台電供電線路出現瞬間壓降,造成竹科昨天10時21分電壓驟降0.109秒,降幅為82.6%。這是C級壓降出現電力擾動,因竹科廠商主要機台大多有不斷電系統,台電亦啟動雙迥路供電,對廠商營運大致沒有影響。

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竹科管理局指出,亞東氣體昨天發生事故的廠區目前尚未正式供氣,這次火災要待期改善完成,提出復工申請,經審查同意後才得以復工。

台積電與聯電昨日均表示,這次壓降事故對生產沒影響。世界則說,公司部分機台有停機進行檢查,目前已陸續復機中,對生產影響有限。

力積電表示,壓降事故發生後,工廠內有加裝不斷電系統的機台隨即啟動,但未加裝的機台受到約80多毫秒壓降的影響,實際報廢晶圓片狀況還在評估中,但依照過去經驗來看,通常影響不大,預期今天應該都會恢復正常。

亞東氣體指出,昨日傳出火警的是尚在興建中的廠區,不影響產能與營運,竹科氣體供應無虞。

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