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ASML下世代EUV飆天價 台積電、英特爾、三星爭下單

ASML。路透
ASML。路透

本文共486字

經濟日報 記者尹慧中/即時報導

半導體極紫外光(EUV)設備獨家供應商艾司摩爾(ASML)下世代EUV設備再飆上新天價,據了解,有別於前代EUV 下世代High-NA EUV 設備因為精密度更高與設計零件更多價格自然水漲船高,其中最新款由英特爾率先下訂的機種EXE:5200 系統報價逾3.4億美元,已再創歷史新高。

台積電(2330)(2330)大舉拉高資本支出多數用於先進製程,業界認為,先進製程3奈米發展至2奈米最關鍵在下世代EUV設備的熟練生產,同時英特爾、三星也積極投入相關設備預定採購。

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ASML 統計,在去年第4季High-NA EUV (TWINSCAN EXE:5000)系統已有5台在手訂單,業界推估每台報價已約3億美元,來自三個主要客戶。

ASML 並在2022 年初收到最新款High-NA EUV (TWINSCAN EXE:5200 )的首份訂單,該訂單依據ASML與英特爾說明是最新下世代EUV設備並率先由英特爾下單,EXE:5200 為 0.55 數值孔徑High-NA EUV 微影技術首度商轉,英特爾目標該設備2025年量產,業界估計該設備報價超過3.4億美元,較前一代價格增逾13%。

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