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超車台積 英特爾率先採購下世代EUV設備

英特爾。路透
英特爾。路透

本文共330字

經濟日報 記者尹慧中/台北即時報導

在台積電(2330)(2330)先前採購EUV (極紫外光) 微影系統設備之後,英特爾今日和ASML共同宣布首度率先採購下世代最新EUV設備High-NA,並計畫2025年導入量產。

依據雙方今日共同新聞稿提到,英特爾和ASML加強合作,推動High-NA在2025年投入製造,此次是英特爾率先且首次訂購ASML的TWINSCAN EXE:5200系統,象徵著邁出關鍵一步。

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ASML並未揭露哪家半導體廠率先採用下世代EUV,不過自2018年已經接獲4台新一代High-NA EUV (TWINSCAN EXE:5000) 訂單,當時就被業界點名是台積電率先預定。

如今英特爾則率先採採購TWINSCAN EXE:5200,讓ASML再度接到一筆新的High-NA EUV訂單。

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