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台積電南科18a廠今陸續復產 估計晚間可全數恢復

2021-08-02 17:41聯合報 記者簡永祥/即時報導
台積電
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台積電。圖/路透
台積電。圖/路透

台積電(2330)18a廠受氧氣槽汙染,經約三個工作天清理,今日上午逐步復產,不過根據供應商訊息,由於公司對整個製程恢復作業相當謹慎,今日上午才啟動約7%的產能,經檢測製程徹底排汙後,下午才逐步增加投片量,預估今日晚間投片量可恢復至九成,應該很快會全數恢復滿載。

台積電18a這次發生氧氣槽汙染事件,初步調查是氣體供應商的聯亞氣體聯結18a氧氣槽的導管發生膠裂,導致製程所需的氧氣受汙染。

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不過讓人感到意外的是,台積電廠務的監控系列卻未即時發出警告,才會導致重要製程產線受到汙染,業界稱這屬於生產作業最基本的防護程序,台積電卻未即時發現,實在不可思議。

所幸在廠務全力動員下,台積電18a廠產線可望在今晚恢復正常運作,外界一度擔心會波及蘋果新一代處理器供應的危機,應可解除。

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