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台積電南科18a廠驚傳製程出包 部分產線停擺

2021-07-30 10:00聯合報 記者簡永祥/即時報導
台積電
  • 半導體
  • 超微

台積電。本報資料照片
台積電。本報資料照片

台積電先進製程的南科18a廠,昨(29)日晚間驚傳製程出狀況, 部分產線停擺,今日上午供應商全數被擋在廠區外,供應鏈透露,應是氧氣供應受到汙染,由於牽涉製程相當廣,台積電自昨晚至早上止,已忙成一團。

台積電今日證實有部分來自廠商供應氧體疑似受到汙染,已即時調度其他氣體供應,此現象對產線並無造成顯著影響,晶片仍正常生產。

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不過從供應商被擋在門外,且消息傳出今日12時台積電18廠將舉行生產會議 ,確實生產受到影響。

半導體業者表示,半導體製程高達700多道,約有270道需使用氧氣,涵蓋蝕刻、物理及化學研磨,幾乎都是核心製程,且台積電18a又是目前台積電最先進5奈米核心製程,目前生產項目又是蘋果下世代5G手機要用的核心處理器和超微新一代處理器,此刻發生氧氣受到汙染,恐怕是直中台積電要害,但預料台積電也會全力排除相關問題,儘速讓產線恢復,只是詳細影響,有待台積電進一步說明。

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