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傳美商英特格將供應EUV光罩盒 給台積電南科廠

2021-07-21 10:45經濟日報 記者謝佳雯/台北即時報導
台積電
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台積電。報系資料照
台積電。報系資料照

供應鏈傳出,台積電(2330)供應商之一的半導體材料大廠美商英特格(Entergris)除計畫在台設廠外,也將開始供應EUV光罩盒給台積電南科廠與美國亞利桑那州廠。

英特格去年底就宣布未來三至五年,將在台灣投資2億美元(折合新台幣近60億)在高雄設廠,並於今年2月獲得科技部審查通過設廠案。

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英特格在台灣的新廠位於南部科學園區高雄園區,研發生產半導體先進製程用的化學材料、流體過濾器、電子級化學品容器及工業材料特殊塗層,主要提供半導體產業上、中、下游廠商的先進製程原料及微污染解決方案。

英特格目前在台灣已有約300名員工,高雄廠預期將新聘200人,新廠預定2023年量產。

供應鏈指出,英特格的高雄廠將為5奈米、3奈米這類最先進半導體生產材料,並已計畫供應EUV光罩盒給台積電南科與美國亞利桑那州廠。

英特格為台積電、英特爾、三星、和SK海力士等晶圓製造大廠的供應商,目前約有六成的產能配置在美國,但持續在亞洲擴廠,包括日本、南韓和馬來西亞都設廠,台灣和中國大陸的生產規模較小。

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