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水情吃緊 半導體廠戒備力求生產不受影響

2021-02-27 09:30中央社 記者張建中、潘智義新竹27日電
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水情吃緊,半導體製造廠無不高度戒備,不僅加強節水、提升用水回收率,並備妥水車或已啟動水車載水,預先做好相關規劃,只求生產不受影響。

隨著部分工業戶節水率自25日起提高至11%,產能滿載的晶圓代工與記憶體廠對於水情的警戒紛紛向上提升,繼台積電北、中、南部分廠區日前已開始執行以水車少量載水外,聯電竹科廠也跟進啟動水車載水。

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台積電強調,並不是所有廠區都啟動水車載水,僅是部分廠區執行,且屬少量載水;一方面提高用水彈性,同時藉以熟悉相關作業程序,預先做好規劃。

聯電表示,水車載水除填補小缺口外,主要是考量水情嚴峻,先試行水車載水。據統計,25日出動不到10輛水車載水。

力積電與華邦電雖尚未啟動水車載水,不過,皆已密切監控水情狀況,並備妥水車,一旦有需要便可啟動載水應急。

華邦電指出,經過多年不斷努力,至2019年全廠用水回收率約82%,製程水回收率約91%。因應當前水情吃緊情況,將進一步提升製程用水回收率,並減少廠內生活用水及景觀澆灌,降低全廠用水需求。

台積電一滴水使用3.5次,令各界印象深刻,2019年總回收水量達1.33億公噸,平均製程用水回收率約86.7%。台積電訂定的節水緊急應變計畫,還包含廚房節水、停止自動澆灌系統、暫停外牆清洗、民生及廁所用水減壓供應、暫停消防訓練用水,並在不影響生產下,延長純水及回收系統再生時間。

為降低自來水用水量,台積電積極承諾並使用工業廢水與民生汙水的再生水,2015年開始發展再生水技術,於2016年打造全國第1條半導體工業再生水試產線,回收處理工業放流水。

台積電2020年啟動南科再生水廠建廠工程,為台灣第1座民營再生水廠,預計今年3月完成主體建築,隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校,致力產出優於進水品質要求的再生水,成為全球第1個導入工業再生水的先進晶圓廠。

為確保生產不受影響,半導體製造廠已紛紛擬妥應變措施,並依水情變化執行。業者表示,最終還是希望水情能夠早日緩解。

面對缺水問題,面板廠也在平日即採取利己且符合環保趨勢的節水措施。友達光電指出,為做好廢水回收再利用,龍潭廠2015年底已做到100%回收,至於其他廠區回收率高低不一,部分廠區回收率達90%以上。

友達表示,為避免缺水,除平日的雨水儲留外,系統循環等廢水再利用方式也已推展很久,不僅工程用水,生活用水也積極省水。

友達說,未缺水時已有專人在做水資源回收工作,各廠區有儲水池,透過不同時段運用,可應付缺水問題,一滴水甚至可使用高達11次;另外,子公司宇沛永續專門處理水資源循環業務,朝循環經濟產業化發展。

面對水資源挑戰,群創光電分析水資源風險衝擊與營運持續規劃,聚焦節水及回收再利用,導入i-FM管理系統,精進水資源管理效率,更有效因應缺水危機,

群創指出,2019年節水專案已增設活性污泥膜濾設備(MBR),提高廢水回收量,藉由放流水導電度提高回收量。在生物廢水回收工程方面,採用回收水系統砂濾單元逆洗水改管,進行回收循環再利用,並增設水質監控及管路回收生物廢水。

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