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海基會董座仍難產 許勝雄將延長代理 17:27

中芯高階路顛簸 台廠迎轉單

2020-10-19 02:30經濟日報 記者林宸誼╱綜合報導

大陸晶圓代工龍頭中芯國際遭美國制裁,不過荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)表示,目前已有技術突破,旗下深紫外光(DUV)光刻機不須獲得美國出口許可,就可直接從荷蘭總部供應給大陸。但ASML並未提到7奈米以下、最先進的極紫外光(EUV)光刻機是否能夠無阻出口大陸。

騰訊科技報導, DUV技術與EUV光刻技術相比,還是略顯不及。ASML所謂的「技術突破」,其實不過是對美技術進行了「抽空」,所以才不會遭受限制。由此來看,中芯未來發展高階製程之路仍顛簸,台積電(2330)、聯電等台灣同業轉單效應持續可期。

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財新報導,ASML執行長Peter Wennink日前表示,該公司不須獲美國許可,就可從荷蘭出貨DUV機台給大陸客戶。至於從ASML美國出貨,或直接到受法規影響的客戶,仍須獲得許可證。

隨著製程不斷推進,中芯目前EUV設備已無法滿足要求,中芯於2018年曾向ASML採購高階製程所需EUV機台,但受到美國阻攔,一直無法拿到貨,導致技術發展卡在7奈米。

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【林宏文專欄】中芯明年量產8奈米?美國半導體禁令失效了嗎?
ASML 晶圓代工 騰訊
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