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ASML助陣 台積先進製程喊衝

2020-08-21 00:50經濟日報 記者簡永祥╱台北報導

全球半導體微影大廠艾司摩爾(ASML)的EUV (極紫外光)全球技術培訓中心昨(20)日在台南科學園區開幕,就近服務第一大客戶台積電(2330)。

主管台積電先進製程的副總經理王英郎特地出席站台。他強調,這項策略可解決台積電在疫情期間派員赴荷蘭訓練的困擾,加速訓練操作人員,有助提升5奈米以下先進製程良率。

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王英郎指出,ASML的EUV設備,是目前全球半導體最昂貴設備,根據ASML的年報,一台EUV賣價約1.2-1.4億歐元(約新台幣40億元。這台設備是目前全球最複雜且最具關鍵性的設備。目前最先進的晶片內建電晶體數密度,同樣面積在短短幾年,由1億顆增至100億顆,晶片耗電還比以前低,因有EUV,將使晶片尺寸變的更小,功能更強,讓很多科技得以實現。

他說,台積電多年前就投片EUV微影技術研發,並希望ASML能在台設立培育中心,這座培訓中心對台積電推進先進製程是一大助力。

ASML全球副總裁暨台灣區總經理陳文光表示,2010年起ASML就提供第一台EUV微影設備原型機給台積電進行研發工作。至今,台灣的EUV裝機規模領先全球。

ASML的EUV全球技術培訓中心斥資4.7億元,配備實機模組,提供技術理論課程和無塵室實機操作課程等多元化培訓內容。並有14位講師,估計每年提供數千小時的課程,可為ASML客戶培育360位EUV技術工程師。陳文光表示,ASML在台灣有2,800名員工,其中研發人員約280人,預計3年內將擴徵至500人。

ASML 台積電 半導體
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