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中芯買設備 不含EUV

2021-03-05 02:01經濟日報 編譯黃淑玲、記者尹慧中╱綜合報導
中國大陸
  • 半導體
  • 晶圓代工廠

艾司摩爾發聲明,釐清與中芯國際的銷售合約。(路透)
艾司摩爾發聲明,釐清與中芯國際的銷售合約。(路透)

荷蘭半導體設備商艾司摩爾(ASML)3日指出,延長與中國大陸晶片製造業者中芯國際之間的銷售合約到今年年底,主要與賣給中芯的製造設備與深紫外光(DUV)技術有關。荷蘭政府紀錄顯示,從2019年到今年2月底都未批准出貨極紫外光(EUV)設備到中國大陸的申請。

中芯3日公告預計向艾司摩爾採購約12億美元的機器設備,但已延長合約到今年底。艾司摩爾表示,與中芯之間的合約是與DUV技術有關。艾司摩爾1月曾表示,若當局允許出售使用較舊技術的晶片製造設備給中國大陸,該公司銷售訂單有望「大幅成長」。

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業界認為,中芯採購DUV設備進度延宕,不利成熟製程擴充,對其他成熟製程營收占比較高的晶圓代工廠仍有利。

中芯最初公告時,未說明採購期限延後一年的項目。業界原先認為是採購出口管制的先進製程所需EUV設備遭遇障礙,協議展延、試圖爭取採購,但艾司摩爾澄清公告後,業界才確認是DUV設備交期將延後。

中芯去年12月被美國列入黑名單,應用材料、科林研發等美國半導體製造設備商在出口設備給中芯之前,都須申請許可,仍允許出售成熟製程晶片製造設備給中芯。業界解讀,中芯現在取得DUV設備製程交期也延長,影響成熟製程的擴充。

美國人工智慧國家安全委員會(NSCAI)日前建議,美國應與荷蘭、日本協調,拒絕核發出貨關鍵晶片製造到中國大陸的許可證。美國半導體產業一名主管說,艾司摩爾延長與中芯的合約,形同「打臉」NSCAI,也凸顯美國與盟邦對此議題的認知落差之大。路透引述美國政府官員指出,美國總統拜登內閣目前更著重於與中國大陸之間的新一波科技競爭。

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