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中國版曼哈頓計畫陸國產 EUV 原型機測試 ing 比外界預期提早數年

路透報導，大陸已在深圳實驗室打造出極紫外光（EUV）曝光機的原型機，這項被形容為「中國曼哈頓計畫」的秘密工程案，由艾司摩爾（ASML）前工程師團隊打造，對ASML的EUV進行逆向工程。圖為艾司摩爾工廠。
（路透） — 路透報導，大陸已在深圳實驗室打造出極紫外光（EUV）曝光機的原型機，這項被形容為「中國曼哈頓計畫」的秘密工程案，由艾司摩爾（ASML）前工程師團隊打造，對ASML的EUV進行逆向工程。圖為艾司摩爾工廠。（路透）

本文共846字

2025/12/19 01:56:46

經濟日報編譯廖玉玲、記者林宸誼／綜合報導

路透報導，大陸已在深圳實驗室打造出極紫外光（EUV）曝光機的原型機，這項被形容為「中國曼哈頓計畫」的秘密工程案，由艾司摩...

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