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科技戰拚技術突破 中芯國際傳測試陸首款國產DUV曝光機

本文共725字

聯合報 記者謝守真/即時報導

中美在高科技競爭持續,英國《金融時報》引述2名知情人士透露,大陸晶片大廠中芯國際正在測試大陸首款國產先進晶片生產設備,目標是用於製造人工智慧處理器。

上述2名知情人士稱,中芯國際正在測試由上海新創公司宇量昇生產的28奈米DUV曝光機,正在測試的這款機器用的是浸沒式技術,類似於艾司摩爾(ASML)所採用的技術,將利用該款DUV曝光機用於「多重圖案技術」(multi-patterning)生產7奈米晶片。不過,目前尚不清楚該曝光機是否何時能用於晶片的量產。

報導稱,若上述DUV曝光機能成功量產,這將幫助大陸突破美國對晶片出口管制,降低對西方技術依賴,並提升先進AI處理器產能。貝恩公司(Bernstein)半導體分析師林清遠(Lin Qingyuan)表示,此舉若成功,將成為大陸企業研發更先進設備的重要基礎。

迄今為止,中芯國際和其他大陸晶片製造商一直依賴艾司摩爾生產的設備,但近年來由於美國出口管制,獲得新設備的機會受到限制。另外,大陸仍缺乏最先進的晶片製造工具,即極紫外曝光機(EUV),這種設備曾用於為輝達等公司製造最尖端的晶片。目前,艾司摩爾被禁止向大陸出售EUV設備。

值得注意的是,深圳市矽開利科技有限公司(SiCarrier)為宇量昇股東之一,也投入EUV研發,但仍處於早期階段。SiCarrier今年3月在上海半導體大會展示大量先進設備,挑戰東京電子與應用材料等國際廠商,其設備線以大陸的高山命名,EUV專案內部代號為「珠穆朗瑪峰」。

此外,報導並稱,中芯計劃在2026年將產能提高3倍。大部分增產仍將使用現有艾司摩爾DUV設備,大陸國產設備預計最早2027年開始量產。不過,分析師認為,中芯要從原型機到量產並與艾司摩爾競爭,仍需數年時間。

英國《金融時報》報導,知情人士透露,中芯正在測試一台大陸國產28奈米DUV微影設...
英國《金融時報》報導,知情人士透露,中芯正在測試一台大陸國產28奈米DUV微影設備,並利用所謂「多重圖樣化技術」(multi-patterning techniques)來生產7奈米晶片。(路透)

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