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大陸半導體設備龍頭北方華創，26日宣布進軍離子注入設備市場，並推出首款離子注入機Sirius MC 313。這一戰略舉動，代表該公司在半導體核心裝備領域完成關鍵布局，為大陸國產半導體設備在高階市場的突破注入新動能。
財聯社報導，作為晶片製造的關鍵環節，離子注入設備雖不如曝光機受矚，卻在半導體製造中扮演不可或缺的角色，該設備透過將特定元素的帶電離子，以精確控制的能量注入半導體材料，實現對材料電學性能的精準調控。
技術流程包括離子源生成、電場加速、精確注入等關鍵步驟，工藝複雜度高，技術壁壘顯著。
根據國際半導體產業協會（SEMI）數據，2024年全球離子注入設備市場規模已達人民幣276億元，預計2030年將增長至人民幣307億元，年複合增長率2.1%；其中，大陸市場空間約人民幣160億元，大陸「國產替代」潛力巨大。
北方華創此次突破，不僅填補大陸高階離子注入設備空白，更將打破國際巨頭長期壟斷的市場格局。隨著Sirius MC 313的推出，公司將成為全球少數具備離子注入設備量產能力的供應商之一，為大陸半導體產業鏈自主可控提供重要支持。
大陸半導體設備行業專家稱，在半導體設備「國產化」浪潮下，北方華創此次布局，將提升大陸在關鍵設備領域的自主創新能力，為下游晶片製造企業提供更多元化的設備選擇。
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