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中國國際半導體展 關注5奈米設備

本文共480字

經濟日報 記者黃雅慧/綜合報導

被認為與華為相關、低調且神祕的深圳晶片設備業者新凱來將在3月底參加中國國際半導體展,這也是該公司的首次亮相。新凱來預告將在半導體展上發布包括峨眉山、武夷山等多款新產品,是否展出5奈米相關設備受到關注,分析認為該公司亮相可能再度拉高大陸科技市場熱度。

據新凱來發布訊息,將在半導體展上發布多款新產品,包括EPI「峨眉山」產品、ETCH「武夷山」產品、CVD「長白山」產品、PVD「普陀山」產品、ALD「阿里山」產品,皆為半導體領域高端產品。

EPI外延層是半導體製造中的重要技術,特別是先進製程和第三代半導體領域;ETCH蝕刻是半導體製造製程一道相當重要的步驟,目前主要由國際廠商主導;CVD化學氣相沉積是半導體製造中需求量最大的設備之一,PVD物理氣相沉積、ALD原子層沉積等都是半導體製造製程當中重要的高端設備。

另外,新凱來與華為的關係也備受熱議,新凱來與華為在半導體領域有技術合作,雙方曾聯合申請並公開了自對準四重成像技術(SAQP)專利,甚至有觀點認為新凱來的產品有望協助華為突破美國的5奈米光刻機上限制。

中國國國際半導體展將於3月26日至28日在上海舉行。

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