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大基金二期入股寧波南大 加速推進光阻劑國產化

2021-07-29 01:14經濟日報 記者林宸誼/綜合報導

大陸國家大基金二期又出手,大陸A股光刻膠(光阻劑)龍頭南大光電旗下子公司寧波南大光電,獲加持人民幣1.8億元(約新台幣8億元),加速推進光阻劑大陸國產化進程。

上海證券報報導,業內人士認為,大基金二期這次投資光阻劑領域公司,是進一步補齊半導體產業鏈短板的舉動;後續大基金將圍繞先進積體電路產業鏈,在半導體更上游的材料、設備領域繼續加大投資,隨著半導體設備、材料「補鏈」發展,大陸半導體產業將真正構建起競爭力。

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公告指出,大基金二期擬以人民幣1.8億元,認購寧波南大光電的新增註冊資本人民幣6,733.1萬元,持股18.3%。增資完成後,南大光電在寧波南大光電持股比率由71.67%降至58.5%,仍為南大光電控股子公司,不影響公司合併報表範圍

為何被大基金二期看上,南大光電指出,寧波南大光電是國家科技重大專項(02專項)之「ArF光阻劑產品開發與產業化」專案的實施主體單位,目前已組建一支具國際水準的先進光阻劑產品開發和產業化隊伍;建成年產25噸的ArF(乾式和浸入式)光阻劑產品生產線;研發的ArF光阻劑產品分別通過一家存儲晶片製造企業和一家邏輯晶片製造企業客戶認證,相關主要晶片製造企業認證工作正在順利推進。

光阻劑是半導體製造的重要關鍵材料,ArF(193奈米)光阻劑更是這個領域的先進材料之一,可以用於90奈米到14奈米,甚至7奈米技術節點積體電路製程。

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