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中芯DUV設備採購交期延長一年 業界估成熟製程擴充放緩

2021-03-04 11:42經濟日報 記者尹慧中/即時報導
ASML

圖為中芯國際在中國國際半導體博覽會設攤。路透
圖為中芯國際在中國國際半導體博覽會設攤。路透

中芯國際3日公告,延長與和艾司摩爾(ASML)公司12億美元機台採購合約期限,這筆設備採購金額逾12億美元,由於未說明何種設備讓市場眾說紛紜,如今艾司摩爾公告據訊息確認不包含EUV設備,僅是DUV設備採購交期延長。讓業界解讀,中芯不僅先進製程受阻礙,連成熟製程的擴充也將因交期延後放緩。

延伸閱讀》不含EUV!艾司摩爾延長中芯國際銷售合約到今年底

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中芯昨晚間公告曖昧不明,引發外界臆測,不過依據艾司摩爾最新公告說明,主要是中芯原先至去年底到期的DUV設備採購協議,將採購協議期限延長到今年底。

中芯原定12億美元採購DUV設備原先需要在去年3月16日至2021年3月2日之前完成,如今和艾司摩爾採購DUV設備協議從採購期限展延至今年年底,讓外界認為,中芯採購DUV設備交期已較原先延後,因此成熟製程擴充估也將放緩。

中芯昨日公告未說明是何種設備採購期限延後一年,業界原先認為應該是受到出口管制的先進製程所需EUV設備遭遇障礙,而在艾司摩爾補充公告後,進一步確認是DUV設備交期將延後。

由於美國出口管制法規更新後,本身主要是限制中芯取得EUV設備能力,原本就未限制到成熟製程所需DUV設備(源自美國成分占比較低)。而如今艾司摩爾公告說明反映中芯DUV設備採購期限延長,讓業界也解讀,中芯不僅先進製程受阻礙,若僅能取得DUV設備製程且交期延長,也將影響成熟製程的擴充。

ASML
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