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全球首富馬斯克本周將視訊參加荷蘭晶片製造設備大廠艾司摩爾（ASML）的內部技術會議，討論他的Terafab超級晶圓廠計畫。ASML形容馬斯克的超級晶圓廠計畫，是個「嚴肅的嘗試」。
ASML預定9至10日舉行僅對員工開放的閉門會議，邀請馬斯克與員工討論他的Terafab計畫。馬斯克3月公開的Terafab計畫，是由他旗下兩大事業特斯拉（Tesla）和SpaceX合資推動，最近宣布要砸至少550億美元在美國興建工廠，未來生產的先進晶片要用於機器人、人工智慧（AI）、太空資料中心。
ASML發言人表示，馬斯克他將向ASML員工「分享AI、機器人、太空及半導體製造的願景」。ASML表示，領導階層之前已經與馬斯克初步討論Terafab計畫，「馬斯克和他的團隊正透過Terafab成為更廣泛半導體生態系的一環，ASML等許多公司都將合作」。
馬斯克在說明他對AI與機器人投資的同時，也希望Terafab最終每年能支持1兆瓩（Terawatt）的運算能力，供他旗下事業使用。Terafab的目標是以目前最先進的製程技術，生產2奈米晶片。
ASML是AI供應鏈要角之一，獨家供應製造AI晶片所需的極紫外光（EUV）微影製造設備，客戶包括台積電（2330）、三星電子等。近期AI支出狂增引爆需求，帶動ASML股價水漲船高，成為歐洲史上市值最高企業。
馬斯克的雄心是挑戰台積電等業界領袖，產量遠高於目前晶片產業產能的更大產能。他曾強調，當前的半導體產業趕上必備數量的動作太慢，所以需要推動超級晶圓廠計畫。
為了引進外部製造專業，馬斯克4月表示，Terafab將採用晶片大廠英特爾（Intel）的14A製程生產晶片。馬斯克的副手也與應用材料、東京威力科創、科林研發等晶片產業供應商接觸，以「光速」推進Terafab計畫。
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