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聚焦高階技術 傳三星低階記憶體光罩擬外包

本文共565字

經濟日報 編譯陳苓/綜合外電

據傳三星電子有意把生產記憶體所用的低階光罩,由自製轉為外包,以專注發展更先進的光罩技術。

韓媒TheElec報導,三星打算把部分光罩改為委外生產,正在評估低階光罩(i-line、KrF)的潛在供應商,包括日本凸板控股的子公司Tekscend Photomask、以及美國光罩商Photronics的子公司PKL,評估仍在進行,預定第3季完成。

三星為防止技術外洩,原本所用光罩全數自行生產。現在決定外包,一來是三星的i-line、KrF設備老舊,現已停產,取得不易;再來是三星不再擁有明顯的技術優勢,可能覺得低階外罩委外,技術風險不大。

消息人士說,三星計劃把本來用於i-line、KrF的資源,轉往較高階的ArF和EUV。ArF和EUV光罩可決定三星的技術實力,三星自然會想聚焦更先進的技術。

光罩能將電路圖轉印在矽晶圓上,可依光線波長分類。i-line使用波長365奈米的光線,來印製簡單的電路圖;KrF波長248奈米,可印製中等精細度的電路圖;ArF波長193奈米,用於更精密的圖樣。極紫外光(EUV)波長僅13.5奈米,可印製最精細的圖案。

晶片日益先進、電路圖不斷縮小,生產過程中也需要更多光罩。比方說,邏輯晶片製程由10奈米轉往1.75奈米,光罩用量從67個增至78個。過去生產DRAM須用30~40個光罩,現在則要超過60個。

傳三星電子有意把生產記憶體所用的低階光罩,由自製轉為外包。路透
傳三星電子有意把生產記憶體所用的低階光罩,由自製轉為外包。路透

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