不含EUV！艾司摩爾延長中芯國際銷售合約到今年底

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荷蘭半導體高階製程設備商艾司摩爾（ASML）周三（3日）宣布，將延長對大陸晶片製造業者中芯國際的銷售合約到今年年底。艾司摩爾說，與中芯的大量採購合約所出售的光刻機器，使用較舊型的技術，稱為深紫外光刻（DUV）。

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中芯國際周三揭露與艾司摩爾簽有大量採購合約，顯示中芯已經花費12億美元向艾司摩爾購買機器設備。數小時之後，艾司摩爾為之發出澄清聲明，表示與中芯的合約始於2018年，本來該在去年年底到期，但雙方洽談後，上個月同意將合約延長到今年年底。

去年12月，中芯被美國列入黑名單，應用材料（Applied Materials）、科林研發（Lam Research）等美國半導體製造設備商要出口機器設備給中芯之前，必須申請許可。不太先進的晶片製造設備，仍可銷售。

路透指出，2019年在當時美國川普政府向荷蘭政府施壓下，取消了艾司摩爾要出售給中芯先進製程所必要的極紫外光刻機（EUV）的計畫，做法是荷蘭官方拒不簽發出貨許可。根據到2月底的官方資料，荷蘭政府沒有批准任何EUV機器設備出貨到中國大陸。

艾司摩爾是全球最大的光刻設備製造商，其所生產的EUV是半導體先進製造的關鍵設備。

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