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不含EUV!艾司摩爾延長中芯國際銷售合約到今年底

2021-03-04 11:02經濟日報 編譯黃淑玲/綜合外電
ASML

艾司摩爾周三發聲明,釐清與中芯國際的銷售合約。路透
艾司摩爾周三發聲明,釐清與中芯國際的銷售合約。路透

荷蘭半導體高階製程設備商艾司摩爾(ASML)周三(3日)宣布,將延長對大陸晶片製造業者中芯國際的銷售合約到今年年底。艾司摩爾說,與中芯的大量採購合約所出售的光刻機器,使用較舊型的技術,稱為深紫外光刻(DUV)。

延伸閱讀》新聞解析/傳中芯成熟製程獲美鬆綁 理由只有一個

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中芯國際周三揭露與艾司摩爾簽有大量採購合約,顯示中芯已經花費12億美元向艾司摩爾購買機器設備。數小時之後,艾司摩爾為之發出澄清聲明,表示與中芯的合約始於2018年,本來該在去年年底到期,但雙方洽談後,上個月同意將合約延長到今年年底。

去年12月,中芯被美國列入黑名單,應用材料(Applied Materials)、科林研發(Lam Research)等美國半導體製造設備商要出口機器設備給中芯之前,必須申請許可。不太先進的晶片製造設備,仍可銷售。

路透指出,2019年在當時美國川普政府向荷蘭政府施壓下,取消了艾司摩爾要出售給中芯先進製程所必要的極紫外光刻機(EUV)的計畫,做法是荷蘭官方拒不簽發出貨許可。根據到2月底的官方資料,荷蘭政府沒有批准任何EUV機器設備出貨到中國大陸。

艾司摩爾是全球最大的光刻設備製造商,其所生產的EUV是半導體先進製造的關鍵設備。

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ASML
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