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三星繼續積極搶買EUV設備 邀ASML高層主管來訪談合作

2020-12-01 14:27經濟日報 編譯黃淑玲/綜合外電

三星積極搶買ASML的EUV設備,力圖追過台積電。 路透
三星積極搶買ASML的EUV設備,力圖追過台積電。 路透

南韓財經媒體Business Korea今天報導,全球唯一極紫外光刻機(EUV)製造商艾司摩爾(ASML)高層主管上周訪問三星電子,兩家公司正尋求強化彼此的技術與投資合作。

包括ASML執行長Peter Wenink在內的多位該公司高層主管上星期參訪三星電子的半導體工廠,討論EUV設備供應與發展的合作。三星電子副會長金奇南與其他三星高層主管參與討論,不過集團少東李在鎔並未參加。

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三星副會長李在鎔今年10月親赴ASML荷蘭總部參觀訪問,當時要求能加快光刻設備的供貨進度。

業界知情人士說,三星電子上周接待ASML高層來訪,再提希望ASML提供更多的極紫外光刻設備,並探討雙方合作開發下一代設備的機會。不過三星方面並沒有馬上決定任何確切的投資計畫。

據了解,三星有意投資研發高數值孔徑(High-Na)EUV,此一設備的價格估計一部就要5,000億韓元,是目前這一代EUV的兩到三倍;ASML預定2023年中期引介此類光刻設備的原型機,三星希望能搶在台積電(2330)之前,拿到該設備,以期能在製程技術上取得領先。

Business Korea指出,三星需要更多的EUV設備以便能生產更多高階製程晶片,搶下更多市占。然而全球獨家供應先進光刻設備的ASML,目前賣給世界第一大晶圓代工廠台積電的機器數量比三星多。

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