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台積南科廠 氣體供應異常

2021-07-31 05:57經濟日報 記者尹慧中、謝佳雯、簡永祥/台北報導
台積電
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台積電(2330)南科廠區因氣體供應商出包,部分產線停擺。台積電即時調度其他氣體供應,強調對營運無造成顯著影響。但供應鏈透露,昨(30)日台積電廠務忙成一團,幾乎全無產出,全力清理受汙染的氧氣槽,估計需花費三到四天才能恢復生產作業。(延伸閱讀:台積電:南科18a廠已調度其他氣體供應 嚴密後續作業

這是台積電南科廠區在2019年初發生光阻劑汙染事件後,南科廠區再度爆發製程受汙染事件,加上正值大客戶蘋果出貨期,後續處理進度備受市場關注。

29日晚間,台積電傳出氣體供應商出包事件,市場一度傳18廠5奈米因此全廠停產,但台積電嚴正否認。不過市場傳出供應商被要求今日起減量供貨,顯示仍有衝擊。

台積電南科晶圓18廠是5奈米核心生產重鎮,生產項目是蘋果5G手機的處理器和超微新一代處理器,相關消息昨日一度引發市場擔心新iPhone 13所需晶片生產受到影響,受相關消息干擾,台積電昨日股價下跌3元,終場以580元作收。外資賣超1,488張。

台積電總裁魏哲家稍早法說會預估5奈米今年營收占比20%,等於貢獻台積電逾3,000億元的營收。台積電未評論單一客戶或產品訊息,不改原先對第3季財務預測。依據台積電美元計算營收,第3季財測將較今年第2季美元營收132.9億美元,季增9.9%至12.1%,平均值約季增11%,有望再挑戰單季歷史新高。

業界人士指出,半導體晶圓製造過程有700多道,需要包括氧氣在內的40至50種氣體,以系統自動化追蹤數據,一旦出現異常,馬上自動阻斷氣體輸送至生產線。目前台積電能做到一旦產線停產,二小時內可調度其他產線代替,較花時間的是調度廠外替代氣體以及清理氧氣槽。為確保排除汙染,台積電徹底檢視爐管、物理及化學研發和蝕刻等重要製程設備,確認排除汙染源。

台積電年報顯示,目前簽長約的法國液空集團、三福氣體、聯華氣體與日本大陽日酸旗下台灣日酸產品可互相替換。台積電在各廠區每日以小組為單位舉行交班、生產會議,昨日事件發生後馬上按照標準作業流程通報,檢討疏失,力拚供應生產恢復正常。

台積電5奈米製程今年進入量產第二年,下個月進入主力大客戶蘋果的生產高峰期,蘋果為iPhone13使用的A15處理器預定上億顆的投片量,交貨期間自8月起至明年初。據了解,18廠清理氧氣槽的作業需花費三到四天的工作日,產線停擺範圍不小,設備供應商正待命配合廠務搶救,盡快恢復產線運作。

延伸閱讀

台積電:南科18a廠已調度其他氣體供應 嚴密後續作業
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